SERVOPRO product range

Reliable, stable and accurate gas measurements for safe area applications

The SERVOPRO analyzers utilize an extensive portfolio of our non-depleting gas sensing technologies – including Paramagnetic, Zirconia, Flame Ionization Detection, Plasma, and Gas Chromatograph for a diverse range of applications.

These flexible analyzers either meet specific measurement requirements, such as for syngas, hydrocarbons, or trace gas mixtures, or provide multi-gas monitoring capabilities for applications such as continuous emissions monitoring systems or air separation unit plants.

SERVOPRO delivers accurate safe area analysis

Setting the standard for analysis in the industrial gas (IG) and semiconductor markets, the SERVOPRO range leads the field in measurement sensitivity

A wide range of sensing technologies

The flexible SERVOPRO range is designed to suit an extensive variety of measurements in IG and semiconductor applications. To this end, it uses an array of sensing technologies, including non-contact, non-depleting methods, covering a generous selection of gases and measurement ranges, to meet the needs of multiple safe area applications.

Industry-leading detection levels

Whether you’re monitoring impurities in air separation unit gases, or ensuring the highest level of purity in semiconductor gases, the SERVOPRO range is up to the task, delivering the measurement sensitivity and performance required – from percentage-level readings to the lowest levels of trace detection available to the market.

Easy to use and integrate

Designed for simple operation, the SERVOPRO range is available for benchtop use or can be mounted in a 19” rack. All the analyzers feature extensive functionality, can be operated directly via intuitive onboard software, or remotely using a variety of analog and digital communications options, ensuring effective operation now and in the future.

See the complete SERVOPRO product range

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通过以下方式优化选择:

4900 Multigas

SERVOPRO Safe Area

4900 Multigas是一款高性能CEMS分析仪,设计用于多种多气体测量。

  • 先进的数字多气体 CEMS 分析
  • 最多同时进行四个气流测量
  • 超稳定、准确、无损耗的传感器
  • 自动校准可减少操作需求
  • 直观的图标驱动彩色触摸屏
  • 用于远程访问的数字通信

AquaXact 1688

SERVOPRO Safe Area

坚固耐用的超薄氧化铝氧化铝湿度传感器,可在各种气相工艺应用中测量水分。

SERVOPRO AquaXact 1688
  • 快速准确的湿度测量
  • 坚固耐用的超薄膜氧化铝传感器
  • 用作独立的 4-20mA 发射器
  • 与兼容的控制器或分析仪远程连接
  • 传感器元件可通过 NIST 追溯且可现场更换
  • IP65 等级连接器

AquaXact Controller

SERVOPRO Safe Area

专为与AquaXact 1688超薄膜氧化铝氧化铝湿度变送器协调工作而制造。

  • 专为操作 AquaXact 1688 而设计
  • 高清晰度彩色触摸显示屏
  • 警报、继电器和高级通信
  • 允许在现场轻松更换传感器尖端
  • 强大、直观的软件控制
  • 结构紧凑且易于集成到您的系统中

Chroma

SERVOPRO Safe Area

色度已针对特定背景气体进行了优化,以确保为您的应用提供最佳性能。

  • 多功能、超精确痕量气体分析
  • 非消耗传感器技术的选择
  • 用于过程控制或质量监控的经济高效的解决方案
  • 适用于多种背景气体
  • 紧凑型 4U 机架兼容设计
  • 灵活的通讯选项

DF-550E

SERVOPRO Safe Area

DF-550E是一种超痕量库仑氧气分析仪,针对超高纯电子气体的质量测量进行了优化

DF-550E an ultra-trace Coulometric oxygen analyzer.
  • 超痕量库仑式氧气分析仪
  • 用于电子气体的质量测量
  • 检测下限为万亿分之 200
  • 适用于多种背景气体
  • 不受样品和流速变化的影响
  • 便携式手提选项

DF-560E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-560E ULTRA为半导体行业提供业界出色的氧气(O2)测量,用于超高纯(UHP)电子级气体的质量控制。

SERVOPRO DF-560E ULTRA
  • 提供业界最佳的氧气测量
  • 用于超高纯气体的质量控制
  • 检测下限为万亿分之 45
  • 高稳定性库仑传感技术
  • 针对易用性和便携性进行了优化
  • 经济高效的设置和配置

DF-745

SERVOPRO Safe Area

DF-745提供了水分的痕量和超痕量测量,可用于LED / LCD制造过程中的超高纯度(UHP)电子气体检查。

  • 提供痕量/超痕量水分测量
  • 用于 LED/LCD 制造中的电子气体检查
  • 可监测多种背景气体
  • 检测限低至十亿分之一
  • 专为卓越的操作灵活性而设计
  • 超可靠的基线测量

DF-745 SGMax

SERVOPRO Safe Area

DF-745 SGMax设计用于测量特殊气体混合应用中的多种气体混合物。

  • 针对特种气体混合进行了优化
  • 微量水分的准确 TDL 分析
  • 适用于各种应用的适应性解决方案
  • 检测限低至十亿分之五
  • 17种标准背景气体数据库
  • 几乎消除了干燥时间

DF-749

SERVOPRO Safe Area

DF-749 提供各种背景气体中的痕量和超痕量水分污染物测量,是 LCD 和 LED 制造中使用的 UHP 气体质量检查的理想选择。

  • 痕量/超痕量水分测量
  • 检查 UHP 电子气体的纯度
  • 方便携带,适合推车或移动使用
  • 检测限低至万亿分之 250
  • 经过工厂校准,安装快速简便
  • 最大限度地减少持续维护需求

DF-750

SERVOPRO Safe Area

DF-750是一种痕量/超痕量水分分析仪,针对用于300mm半导体工厂的超高纯度(UHP)气体的测量进行了优化。

  • 痕量/超痕量水分测定仪
  • 用于电子级气体的纯度检查
  • 稳定、高精度的 TDL 测量
  • 检测下限低 100ppt
  • 终身维护要求低

DF-750 ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。

  • 提供业界最佳的湿度测量
  • 行业领先的 55 ppt 检测下限
  • 零漂移稳定性延长了校准间隔
  • N2、H2、He、Ar 和 O2 中的测量
  • 旨在满足卓越的气体纯度标准

DF-760E

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E分析仪专为超高压散装气体的质量控制应用而设计,是用于微量和微量微量水分双重测量的独特解决方案

  • 用于 UHP 大宗气体的质量控制
  • 双水分和氧气分析
  • 痕量和超痕量测量
  • 非消耗库仑式 O2 传感器
  • 稳健的 TDL 湿度传感
  • 卓越的低检测限

DF-760E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。

  • 用于 UHP 气体的双水分/氧气分析仪
  • 质量检查和泄漏检测的理想选择
  • 55ppt 水分检测下限
  • 氧气检测下限为 45ppt
  • 结合库仑法和 TDL 传感
  • 检测范围广

FID

SERVOPRO Safe Area

FID具有痕量分析功能,是ASU安全和质量控制应用的理想选择。

  • ASU 安全和质量控制的理想选择
  • 强大的火焰离子化检测器分析
  • 提供痕量总碳氢化合物测量
  • 适用于各种应用的适应性解决方案
  • 低噪声 FID 传感实现卓越的精度
  • 远程通信选项范围

HFID

SERVOPRO Safe Area

使用设置为190°C(374°F)的内部加热炉将样品气体保持在其露点以上,以实现总烃分析(THC)的优异性能。

  • 高灵敏度痕量碳氢化合物分析
  • 车辆/发动机认证测试的理想选择
  • 加热 FID 测定挥发性烃浓度
  • 提供实时、在线气体分析
  • 切割系统去除非甲烷碳氢化合物
  • 四个用户可定义的测量范围选项

MonoExact DF150E

SERVOPRO Safe Area

MonoExact DF150E将Servomex久经考验的库仑式氧气传感器的可靠性与更人性化的包装相结合。

  • 数字触摸屏和图标驱动界面
  • 经过试验和测试的数字库仑氧传感器
  • 针对工业气体应用进行了优化
  • 测量三个范围内的氧气
  • 占地面积紧凑,集成简单
  • 无需传感器调零

MonoExact DF310E

SERVOPRO Safe Area

专为精确测量工业气体(IG)应用中的氧气而设计。

  • 准确测量氧气和湿度
  • 专为工业气体应用而设计
  • 经过试验和测试的数字库仑氧传感器
  • 非耗尽顺磁传感器选项
  • 即插即用湿度传感器支持
  • 模拟和数字通信选项

MultiExact 4100

SERVOPRO Safe Area

一种高性能的多气体分析仪,旨在提供多达四个同时的气流测量。

SERVOPRO MultiExact 4100
  • 高度适应性的多气体分析仪
  • 提供多达四个同时测量
  • 广泛的传感技术选择
  • 工业和医用气体的多功能解决方案
  • 内置湿度传感器支持
  • 可选的高级数字协议

MultiExact 4200

SERVOPRO Safe Area

MultiExact 4200可同时分析多达四种气体合成气和HyCO

  • 适用于 HyCO、合成气、H2 和气体传输应用
  • 高规格多气体分析仪
  • 同时测量多达四种气流
  • 结合了行业领先的传感技术
  • 低拥有成本和最少的维护
  • 直观的图标驱动彩色触摸屏

NanoChrome

SERVOPRO Safe Area

结合气体传感和信号处理方法的最新进展,NanoChrome彻底改变了超痕量纯度的测量方法。

  • UHP 气体中的超痕量纯度测量
  • 专为半导体制造而设计
  • 使用先进的等离子发射检测器传感器
  • 灵敏的 ProPeak 软件可实现高精度
  • 无需使用易燃气体
  • 综合报告和统计分析

NanoChrome ULTRA

SERVOPRO Safe Area

通过使用成熟的超痕量传感技术,NanoChrome ULTRA征服了半导体行业最严格的要求,与竞争技术相比,提供了一种经济高效的解决方案。

  • 超痕量纯度测量的首选
  • 专为半导体晶圆行业设计
  • 超高纯气体的卓越测量
  • 高度特异性、非消耗 PED 传感
  • 用于高灵敏度测量的 ProPeak 过滤
  • 无需使用易燃气体

NOx

SERVOPRO Safe Area

测量工业气体和车辆排放应用中的NO或NO / NO2 / NOx浓度。

  • 测量 NO 或 NO/NO2/NOx 浓度
  • 使用经过时间验证的化学发光传感
  • 监测工业固定源排放
  • 足够快的速度进行发动机排放测试
  • 无需真空泵
  • 四个用户可定义的测量范围

Plasma

SERVOPRO Safe Area

等离子可提供准确,高度稳定和可靠的测量,并且灵敏度在0-1ppm范围内。

SERVOPRO Plasma
  • 氩气中的氮分析
  • 专为 ASU 工厂设计
  • 无与伦比的稳定性和选择性
  • 高规格等离子体发射检测器
  • 标准或高纯度设置模式
  • 可靠、准确的连续监测

PureGas

SERVOPRO Safe Area

基于吸气剂的净化装置,用于净化气相色谱(GC)和其他分析应用中使用的载气

SERVOPRO PureGas
  • 基于吸气剂的净化装置
  • 专为气相色谱中使用的载气而设计
  • 将出口杂质水平降低至 ppb 或更低
  • 通过形成不可逆的化学键去除杂质
  • 高效陶瓷纤维保温材料
  • 专为连续运行而设计,无需维修

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