DF高纯

DF-760E ULTRA是用于UHP气体的双重水分/氧气分析仪

紧凑型DF-760E NanoChrome ULTRA分析仪可提供UHP散装气体的行业领先的质量控制测量结果,是对痕量和超痕量水分(H2O)和氧气(O2)进行双重测量的出色解决方案。

适用于UHP大宗气体质量控制应用的双组分测量解决方案

DF-760E ULTRA提供了一种紧凑的集成解决方案,用于同时监测痕量水分和痕量氧气,它是一款分析仪,用于监测集成电路板制造中使用的UHP散装气体。

DF-760E ULTRA将Servomex的无消耗电量分析传感器的行业领先性能与强大的可调谐二极管激光(TDL)技术结合在一个紧凑的装置中,可测量背景气体氮气混合物中H2O和O2的超低污染物水平( N2),氢(H2),氦气(He),O2和氩气(Ar)(仅O2中的H2O)。

Dan Johnson
产品与服务全球负责人– P&S

业内领先的测量性能

DF-760E ULTRA具有行业领先的55ppt(H2O)和45ppt(O2)的低检测下限(LDL),提供了快速的响应速度,无与伦比的稳定性和对痕量酸损害的抵抗力,因此非常适合质量半导体FAB应用中的检查和泄漏检测。

低维护设计支持这种无与伦比的测量性能,该设计通过弹性零漂移传感技术实现,无需进行持续的校准。

高稳定性TDL迹线/超迹线测量

当您从事集成电路板的制造时,电子级UHP气体的质量控制至关重要。要测量作为微量污染物的O2和水分,您需要一种高度敏感的测量方法,其测量范围可以降至最低水平。快速响应和稳定的测量可靠性是必须的。而且,无论您的测量要求如何,您都需要一种能够提高运营效率的解决方案。我们认为您不必妥协。

绝不妥协的解决方案

DF-760E ULTRA是唯一通过Servomex领先的TDL和库仑电子传感器技术提供的用于超痕量水分和氧气的组合分析解决方案。低LDL – 55ppt(H2O)/ 45ppt(O2)-提供了所需的灵敏度,并且通过单个设备即可测量N2,H2,He,Ar和O2背景气体的多种气流的能力提供了相当大的适应性,以适合您的气体质量检查需求。

维护简单,降低了运营成本

通过在一个紧凑的一体式解决方案中提供双重分析功能,DF-760E ULTRA减少了分别使用单独的O2和H2O分析仪所带来的占地面积,基础架构和维护成本。通过提供始终可靠,快速的响应速度和零漂移,DF-760E ULTRA可帮助延长维护和校准间隔,而工厂预校准可简化设置和安装。这确保DF-760E ULTRA为半导体行业提供集成的增值解决方案。

需要气体分析系统吗?联系专家

我们的气体分析专业知识和技术范围可确保我们能够为您的过程需求提供系统。有关从头到尾的协作方法和项目管理的信息,请立即联系。

准备买?运作方式如下

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我们的专家团队将帮助您选择合适的产品包,确保您拥有附件和支持,以使分析仪获得最佳性能

Fulfilment

履行

双重测量功能的独特优势

DF-760E ULTRA提供了业界领先的低检测限(LDL),用于单一溶液的水分含量为55ppt,氧气含量为45ppt,以追踪污染物的测量值。

广泛检测

DF-760E ULTRA在0-20ppm至0-2ppb min。和0-20ppm至0-1ppb min的范围内执行H2O测量。用于氧气测量。

维护最少

非消耗电量分析法和TDL传感技术降低了持续的成本,同时零传感器漂移延长了DF-760E ULTRA的校准间隔。

易于使用

单个DF-760E ULTRA能够通过前面板或数字通信协议进行操作,可用于多种背景气体的双重测量。

无与伦比的性能
稳定,准确的感应提供业界领先的痕量测量
55ppt LDL(H2O)/ 45ppt LDL(O2)
由仕富梅(Servomex)制造-超过60年的气体分析先锋经验,已在现场使用了数千种单位

灵活
ppt监测水分和氧气的独特行业解决方案
可通过前面板或数字通讯选项进行操作
广泛的检测范围:
0-20ppm – 0-2ppb(H2O)/
0-20ppm – 0-1ppb(O2)

易于使用
双重分析功能为“ H2O / O2”痕量污染物测量提供“一体式”解决方案
单个分析仪可用于多种背景气体:
N2,H2,He,Ar和O2

拥有成本低
弹性的TDL和电量耗尽的库仑感测需要最少的持续维护
传感器漂移可忽略不计,大大延长了校准间隔
TDL不受酸损害

符合基准
IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

检测到的气体,测量和技术

DF-760E ULTRA结合了非消耗电量分析传感器和强大的TDL技术,可对多种背景气体中的水分和氧气进行痕量和超痕量测量。

Gas 测量
氧 (O₂)ppm, ppb, ppt
水蒸气(水分) (H₂O)ppm, ppb, ppt

Technologies

证明书

IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

原理图(选择展开)

尺寸

483公厘(19吋)宽x 266公厘

(10.5英寸)高x 608毫米(23.9英寸)深

重量

31.8公斤(70磅)

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

下载DF-760E ULTRA资源包

“通过我们完整的资源包,可以找到有关DF-760E ULTRA的功能,优势和技术规格的更多信息。我们将您需要了解的所有内容汇总到一个简单的下载文件中。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

手册和手册

想更多地了解DF-760E ULTRA的性能和功能?立即下载我们的产品手册和操作手册。

ES Semicon杂志第25期

ES Semicon杂志第25期

ES ULTRA系列杂志

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DF-760E ULTRA 产品手册

DF-760E ULTRA 产品手册

GC-PED与APIMS专家论文

GC-PED与APIMS专家论文

典型应用

DF-760E ULTRA旨在监控集成电路板制造中所用UHP散装气体的纯度,可提供业界领先的O2和H2O双重测量。

集成电路板工厂的散装气体质量控制检查|泄漏检测检查

UHP Gases / Semiconductors

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