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我们稳定可靠的气体分析解决方案可测量超过20种气体,可达到业界先进的精度和稳定性。
我们的专业知识和单一供应商解决方案有助于改善广泛的工业流程。
我们为危险和安全区域应用提供准确可靠的气体分析,包括超低检测和便携式产品。
为您的过程控制找到正确的气体分析解决方案。我们的探测器允许您通过关键参数进行选择,包括气体感测,使用的技术和所需的量程。
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我们提供定制的服务产品,以满足您精确的过程控制要求。
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Servomex致力于在整个组织中对人员和业务采取可持续的方法。
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UHP气体对于半导体制造以及LED和LCD显示屏等电子产品的生产至关重要。我们能为这些应用中的所有重要UHP测量提供单一供应商解决方案。
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了解我们如何支持半导体和超高纯气体工艺
我们独特的单一供应商分析解决方案可测量生产过程中出现的各种杂质。
深入介绍了我们的水分分析仪技术及其易于维护的优势
了解我们的超薄膜氧化铝水分测量技术如何提供准确、稳定的测量结果
制造硅晶圆需要使用超纯气体以避免污染。为此,制造商需要采用严格的流程(包括多种气体净化技术)以确保将UHP气体输送到制造过程中。这要求准确检测超低气体浓度。
即使微量杂质也会导致重大的晶圆制造缺陷,致使昂贵的报废和浪费。气体测量是必不可少的质量控制手段,且必须涵盖所有可能存在的杂质。例如,微量级氧气分析可防止氧化及其它化学反应影响生产过程。同时微量级的水分分析同样必不可少,否则仍会发生污染。因此,制造商需要一套能测量所有杂质的综合解决方案,还需要兼顾不同来源的硬件和软件之间的集成问题。
我们可提供具有业内超低检测限的DF系列氧气和水分分析仪,以及能测量各种微量级杂志的SERVOPRO NanoChrome多元分析仪。它们不仅能无缝集成到客户现有系统中,也可作为一种“交钥匙”的连续质量控制系统交付,能满足客户的个性化需求。
我们非常熟悉半导体制造和电子级气体应用领域,拥有丰富的专业知识和强大的专家团队,能为客户的过程应用提供最佳解决方案。
我们的高灵敏度分析仪可提供高性能的微量级和超微量级杂质检测能力,能在多种背景气体中检测水分和氧气等杂质。
融合了我们的NanoChrome多气体分析仪、DF-500系列氧气监测仪、以及DF-700水分分析仪。
我们的服务网络覆盖全球,能为客户提供本地化支持,确保我们的分析仪和系统具有始终如一的高性能和可靠性。
Matt 领导我们的专业纯度和专业团队提供产品、知识 以及为工业、医疗、UHP 和半导体气体市场提供服务。
Matt Chambers, 纯度与专业业务部经理
Claus 负责管理我们的 Chroma 业务部门,是一位经验丰富的工程师,自 2004 年以来一直在仕富梅工作,领导了许多新产品的研发。 他也是仕富梅 STEM 计划的成员
Claus Agersbaek, Chroma 业务部经理
Joseph 总部位于美国技术中心,与半导体和工业气体市场的客户密切合作,提供专业知识和产品解决方案来满足他们的要求。
Joseph Ha, 纯度与专业产品经理
克里斯与我们的客户,销售团队和工程师紧密合作,通过应用程序和产品开发来推动增长。
Chris Davis, 产品经理
Phil身为Servomex的长期专家,拥有超过33年的服务经验,他对半导体市场的要求拥有丰富的知识,并为客户,同事和渠道合作伙伴提供技术和应用支持。
Phil Rogers, 半导体部门高级产品专员
Chee Wee总部位于新加坡,负责监督我们在该地区的直销和渠道销售团队,并管理Servomex在亚洲的所有站点和运营。
Chee Wee Yap, 亚洲销售总监,亚洲站点负责人
4900 Multigas是一款高性能CEMS分析仪,设计用于多种多气体测量。
坚固耐用的超薄氧化铝氧化铝湿度传感器,可在各种气相工艺应用中测量水分。
专为与AquaXact 1688超薄膜氧化铝氧化铝湿度变送器协调工作而制造。
色度已针对特定背景气体进行了优化,以确保为您的应用提供最佳性能。
DF-550E是一种超痕量库仑氧气分析仪,针对超高纯电子气体的质量测量进行了优化
DF-560E ULTRA为半导体行业提供业界出色的氧气(O2)测量,用于超高纯(UHP)电子级气体的质量控制。
DF-740是使用可调谐二极管激光(TDL)传感技术的微量水分分析仪,旨在测量UHP级氨中的污染物。
DF-745提供了水分的痕量和超痕量测量,可用于LED / LCD制造过程中的超高纯度(UHP)电子气体检查。
DF-745 SGMax设计用于测量特殊气体混合应用中的多种气体混合物。
DF-749 提供各种背景气体中的痕量和超痕量水分污染物测量,是 LCD 和 LED 制造中使用的 UHP 气体质量检查的理想选择。
DF-750是一种痕量/超痕量水分分析仪,针对用于300mm半导体工厂的超高纯度(UHP)气体的测量进行了优化。
DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。
紧凑型DF-760E分析仪专为超高压散装气体的质量控制应用而设计,是用于微量和微量微量水分双重测量的独特解决方案
紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。
FID具有痕量分析功能,是ASU安全和质量控制应用的理想选择。
设计用于测量烟气中的O2和COe,以提高燃烧效率并减少排放。
固态非消耗型传感器,配置为在工艺气流中运行。 提供对其他气体不交叉敏感的直接氢气测量。
使用设置为190°C(374°F)的内部加热炉将样品气体保持在其露点以上,以实现总烃分析(THC)的优异性能。
无与伦比的安装灵活性以及成本和性能优势,可用于燃烧和过程控制中的快速,准确和响应式测量。
紧凑,高性能的可调谐二极管激光器(TDL)分析仪,专为氨逃逸测量优化
经过优化,可在炎热或危险条件下快速,准确和反应灵敏地测量过程中的氧气(O2)。
设计用于测量潜在易燃气体中的氧气(O2)。 通过了0区和1区认证,适合测量O2的百分比水平。
MiniHD 5200便携式气体分析仪是一款坚固耐用的重型分析仪,旨在准确测量常见气体混合物中的O2,CO和CO2含量。
经MCERTS和TUV认证的真正由电池供电的便携式气体分析仪,可对氧气(O2)和二氧化碳(CO2)进行一次或两次测量。
MonoExact DF150E将Servomex久经考验的库仑式氧气传感器的可靠性与更人性化的包装相结合。
专为精确测量工业气体(IG)应用中的氧气而设计。
一种高性能的多气体分析仪,旨在提供多达四个同时的气流测量。
MultiExact 4200可同时分析多达四种气体合成气和HyCO
结合气体传感和信号处理方法的最新进展,NanoChrome彻底改变了超痕量纯度的测量方法。
通过使用成熟的超痕量传感技术,NanoChrome ULTRA征服了半导体行业最严格的要求,与竞争技术相比,提供了一种经济高效的解决方案。
测量工业气体和车辆排放应用中的NO或NO / NO2 / NOx浓度。
高规格的OxyExact 2200 O2分析仪提供了非凡的精度,灵活性和性能组合,可实现优异的过程和安全控制。
等离子可提供准确,高度稳定和可靠的测量,并且灵敏度在0-1ppm范围内。
基于吸气剂的净化装置,用于净化气相色谱(GC)和其他分析应用中使用的载气
The Oxy 1900 oxygen (O2) gas analyzer sets new standards of flexibility, stability and reliability from a single, cost-effective unit.
灵活的单组分和多组分气体分析能力,适用于腐蚀性、有毒和易燃样品流。
了解UHP气体分析的最新进展,包括新近推出的产品及应用解决方案。
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