UHP气体对于半导体制造以及LED和LCD显示屏等电子产品的生产至关重要。我们能为这些应用中的所有重要UHP测量提供单一供应商解决方案。
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制造硅晶圆需要使用超纯气体以避免污染。为此,制造商需要采用严格的流程(包括多种气体净化技术)以确保将UHP气体输送到制造过程中。这要求准确检测超低气体浓度。
即使微量杂质也会导致重大的晶圆制造缺陷,致使昂贵的报废和浪费。气体测量是必不可少的质量控制手段,且必须涵盖所有可能存在的杂质。例如,微量级氧气分析可防止氧化及其它化学反应影响生产过程。同时微量级的水分分析同样必不可少,否则仍会发生污染。因此,制造商需要一套能测量所有杂质的综合解决方案,还需要兼顾不同来源的硬件和软件之间的集成问题。
我们可提供具有业内超低检测限的DF系列氧气和水分分析仪,以及能测量各种微量级杂志的SERVOPRO NanoChrome多元分析仪。它们不仅能无缝集成到客户现有系统中,也可作为一种“交钥匙”的连续质量控制系统交付,能满足客户的个性化需求。
我们非常熟悉半导体制造和电子级气体应用领域,拥有丰富的专业知识和强大的专家团队,能为客户的过程应用提供最佳解决方案。
我们的高灵敏度分析仪可提供高性能的微量级和超微量级杂质检测能力,能在多种背景气体中检测水分和氧气等杂质。
融合了我们的NanoChrome多气体分析仪、DF-500系列氧气监测仪、以及DF-700水分分析仪。
我们的服务网络覆盖全球,能为客户提供本地化支持,确保我们的分析仪和系统具有始终如一的高性能和可靠性。
Dan负责确保Servomex是为工业气体和半导体市场提供气体分析仪的领先供应商,对客户的战略目标有很好的了解。
Mike Proctor, P&S产品管理主管
道格拉斯负责我们的SERVOPRO安全区域分析仪系列和DF-500系列,负责监督每种产品的生命周期,并确保它们能够使客户满意。
Douglas Barth, 高级全球产品经理
克里斯与我们的客户,销售团队和工程师紧密合作,通过应用程序和产品开发来推动增长。
Chris Davis, 产品经理
Chee Wee总部位于新加坡,负责监督我们在该地区的直销和渠道销售团队,并管理Servomex在亚洲的所有站点和运营。
Chee Wee Yap, 亚洲销售总监,亚洲站点负责人
在深刻理解“数字化转型”带来的客户新兴需求之后,Tony推动了我们的战略,以提供满足这些需求的解决方案和功能。
Tony Dodd, 数字架构主管
Mark带领我们的全球服务团队满足客户需求并超出他们的期望,在全球范围内推广最佳实践并提供相同的高标准服务。
Mark Calvert, 全球服务主管
Phil身为Servomex的长期专家,拥有超过33年的服务经验,他对半导体市场的要求拥有丰富的知识,并为客户,同事和渠道合作伙伴提供技术和应用支持。
Phil Rogers, 半导体部门高级产品专员
Teguh以客户为中心,并且非常注重细节,他的经验和知识可确保他能够理解和解决客户应用程序问题,提供前端技术支持并提供专家培训。
Teguh Chandra, 应用专员
DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。
紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。
通过使用成熟的超痕量传感技术,NanoChrome ULTRA征服了半导体行业最严格的要求,与竞争技术相比,提供了一种经济高效的解决方案。
高规格的OxyExact 2200 O2分析仪提供了非凡的精度,灵活性和性能组合,可实现优异的过程和安全控制。
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