超高纯 (UHP) 气体/半导体

我们可提供完整解决方案, 满足UHP气体的纯度监测应用需求

UHP气体对于半导体制造以及LED和LCD显示屏等电子产品的生产至关重要。我们能为这些应用中的所有重要UHP测量提供单一供应商解决方案。

关于UHP气体分析和半导体制造的资料

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SERVOPRO MonoExact DF150E白皮书

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仕富梅系统说明书

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SERVOPRO NanoChrome白皮书

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ES半导体解决方案杂志

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高纯度过程离不开有效的分析技术

制造硅晶圆需要使用超纯气体以避免污染。为此,制造商需要采用严格的流程(包括多种气体净化技术)以确保将UHP气体输送到制造过程中。这要求准确检测超低气体浓度。

即使微量杂质也会导致重大生产问题

即使微量杂质也会导致重大的晶圆制造缺陷,致使昂贵的报废和浪费。气体测量是必不可少的质量控制手段,且必须涵盖所有可能存在的杂质。例如,微量级氧气分析可防止氧化及其它化学反应影响生产过程。同时微量级的水分分析同样必不可少,否则仍会发生污染。因此,制造商需要一套能测量所有杂质的综合解决方案,还需要兼顾不同来源的硬件和软件之间的集成问题。

NanoChrome Analyser

我们可提供综合系统解决方案

我们可提供具有业内超低检测限的DF系列氧气和水分分析仪,以及能测量各种微量级杂志的SERVOPRO NanoChrome多元分析仪。它们不仅能无缝集成到客户现有系统中,也可作为一种“交钥匙”的连续质量控制系统交付,能满足客户的个性化需求。

我们是UHP气体分析专家

我们非常熟悉半导体制造和电子级气体应用领域,拥有丰富的专业知识和强大的专家团队,能为客户的过程应用提供最佳解决方案。

行业先进的检测技术

我们的高灵敏度分析仪可提供高性能的微量级和超微量级杂质检测能力,能在多种背景气体中检测水分和氧气等杂质。

完整解决方案

融合了我们的NanoChrome多气体分析仪、DF-500系列氧气监测仪、以及DF-700水分分析仪。

全球服务支持

我们的服务网络覆盖全球,能为客户提供本地化支持,确保我们的分析仪和系统具有始终如一的高性能和可靠性。

会见专家

Matt 领导我们的专业纯度和专业团队提供产品、知识
以及为工业、医疗、UHP 和半导体气体市场提供服务。

Matt Chambers, 纯度与专业业务部经理

Claus 负责管理我们的 Chroma 业务部门,是一位经验丰富的工程师,自 2004 年以来一直在仕富梅工作,领导了许多新产品的研发。 他也是仕富梅 STEM 计划的成员

Claus Agersbaek, Chroma 业务部经理

Joseph 总部位于美国技术中心,与半导体和工业气体市场的客户密切合作,提供专业知识和产品解决方案来满足他们的要求。

Joseph Ha, 纯度与专业产品经理

克里斯与我们的客户,销售团队和工程师紧密合作,通过应用程序和产品开发来推动增长。

Chris Davis, 产品经理

Phil身为Servomex的长期专家,拥有超过33年的服务经验,他对半导体市场的要求拥有丰富的知识,并为客户,同事和渠道合作伙伴提供技术和应用支持。

Phil Rogers, 半导体部门高级产品专员

Chee Wee总部位于新加坡,负责监督我们在该地区的直销和渠道销售团队,并管理Servomex在亚洲的所有站点和运营。

Chee Wee Yap, 亚洲销售总监,亚洲站点负责人

伺服分析仪查找器

按搜索字词优化

通过以下方式优化选择:

4900 Multigas

SERVOPRO Safe Area

4900 Multigas是一款高性能CEMS分析仪,设计用于多种多气体测量。

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AquaXact 1688

SERVOPRO Safe Area

坚固耐用的超薄氧化铝氧化铝湿度传感器,可在各种气相工艺应用中测量水分。

SERVOPRO AquaXact 1688
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AquaXact Controller

SERVOPRO Safe Area

专为与AquaXact 1688超薄膜氧化铝氧化铝湿度变送器协调工作而制造。

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Chroma

SERVOPRO Safe Area

色度已针对特定背景气体进行了优化,以确保为您的应用提供最佳性能。

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DF-550E

SERVOPRO Safe Area

DF-550E是一种超痕量库仑氧气分析仪,针对超高纯电子气体的质量测量进行了优化

DF-550E an ultra-trace Coulometric oxygen analyzer.
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DF-560E

SERVOPRO Safe Area

DF-560E为半导体行业提供业界优异的氧气(O2)测量,用于超高纯(UHP)电子级气体的质量控制。

DF-560E analyzer for industry-leading ultra-trace oxygen detection
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DF-560E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-560E ULTRA为半导体行业提供业界出色的氧气(O2)测量,用于超高纯(UHP)电子级气体的质量控制。

SERVOPRO DF-560E ULTRA
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DF-740

SERVOPRO Safe Area

DF-740是使用可调谐二极管激光(TDL)传感技术的微量水分分析仪,旨在测量UHP级氨中的污染物。

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DF-745

SERVOPRO Safe Area

DF-745提供了水分的痕量和超痕量测量,可用于LED / LCD制造过程中的超高纯度(UHP)电子气体检查。

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DF-745 SGMax

SERVOPRO Safe Area

DF-745 SGMax设计用于测量特殊气体混合应用中的多种气体混合物。

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DF-749

SERVOPRO Safe Area

DF-749 提供各种背景气体中的痕量和超痕量水分污染物测量,是 LCD 和 LED 制造中使用的 UHP 气体质量检查的理想选择。

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DF-750

SERVOPRO Safe Area

DF-750是一种痕量/超痕量水分分析仪,针对用于300mm半导体工厂的超高纯度(UHP)气体的测量进行了优化。

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DF-750 ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。

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DF-760E

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E分析仪专为超高压散装气体的质量控制应用而设计,是用于微量和微量微量水分双重测量的独特解决方案

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DF-760E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。

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FID

SERVOPRO Safe Area

FID具有痕量分析功能,是ASU安全和质量控制应用的理想选择。

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FluegasExact 2700

SERVOTOUGH Hazardous Area

设计用于测量烟气中的O2和COe,以提高燃烧效率并减少排放。

The FluegasExact 2700 analyzer for effective combustion analysis
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HFID

SERVOPRO Safe Area

使用设置为190°C(374°F)的内部加热炉将样品气体保持在其露点以上,以实现总烃分析(THC)的优异性能。

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Laser 3 Plus Combustion

SERVOTOUGH Hazardous Area

无与伦比的安装灵活性以及成本和性能优势,可用于燃烧和过程控制中的快速,准确和响应式测量。

Laser 3 Plus Tunable Diode Laser
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Laser 3 Plus Environmental

SERVOTOUGH Hazardous Area

紧凑,高性能的可调谐二极管激光器(TDL)分析仪,专为氨逃逸测量优化

SERVOTOUGH Laser 3 Plus Environmental
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Laser 3 Plus Process

SERVOTOUGH Hazardous Area

经过优化,可在炎热或危险条件下快速,准确和反应灵敏地测量过程中的氧气(O2)。

Laser 3 Plus Process Tunable Diode Laser (TDL) analyzer
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Micro i.s. 5100

SERVOFLEX Portables

设计用于测量潜在易燃气体中的氧气(O2)。 通过了0区和1区认证,适合测量O2的百分比水平。

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MiniHD 5200

SERVOFLEX Portables

MiniHD 5200便携式气体分析仪是一款坚固耐用的重型分析仪,旨在准确测量常见气体混合物中的O2,CO和CO2含量。

SERVOFLEX MiniHD 5200
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MiniMP 5200

SERVOFLEX Portables

经MCERTS和TUV认证的真正由电池供电的便携式气体分析仪,可对氧气(O2)和二氧化碳(CO2)进行一次或两次测量。

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MonoExact DF150E

SERVOPRO Safe Area

MonoExact DF150E将Servomex久经考验的库仑式氧气传感器的可靠性与更人性化的包装相结合。

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MonoExact DF310E

SERVOPRO Safe Area

专为精确测量工业气体(IG)应用中的氧气而设计。

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MultiExact 4100

SERVOPRO Safe Area

一种高性能的多气体分析仪,旨在提供多达四个同时的气流测量。

SERVOPRO MultiExact 4100
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MultiExact 4200

SERVOPRO Safe Area

MultiExact 4200可同时分析多达四种气体合成气和HyCO

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NanoChrome

SERVOPRO Safe Area

结合气体传感和信号处理方法的最新进展,NanoChrome彻底改变了超痕量纯度的测量方法。

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NanoChrome ULTRA

SERVOPRO Safe Area

通过使用成熟的超痕量传感技术,NanoChrome ULTRA征服了半导体行业最严格的要求,与竞争技术相比,提供了一种经济高效的解决方案。

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NOx

SERVOPRO Safe Area

测量工业气体和车辆排放应用中的NO或NO / NO2 / NOx浓度。

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OxyExact 2200

SERVOTOUGH Hazardous Area

高规格的OxyExact 2200 O2分析仪提供了非凡的精度,灵活性和性能组合,可实现优异的过程和安全控制。

OxyExact 2200 high-specification O2 analyzer
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Plasma

SERVOPRO Safe Area

等离子可提供准确,高度稳定和可靠的测量,并且灵敏度在0-1ppm范围内。

SERVOPRO Plasma
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PureGas

SERVOPRO Safe Area

基于吸气剂的净化装置,用于净化气相色谱(GC)和其他分析应用中使用的载气

SERVOPRO PureGas
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SERVOPRO MonoExact DF310E

SERVOPRO Safe Area

Designed specifically for accurate measurements of oxygen in industrial gas (IG) applications.

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SERVOTOUGH Oxy 1900

SERVOTOUGH Hazardous Area

The Oxy 1900 oxygen (O2) gas analyzer sets new standards of flexibility, stability and reliability from a single, cost-effective unit.

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SpectraExact 2500

SERVOTOUGH Hazardous Area

灵活的单组分和多组分气体分析能力,适用于腐蚀性、有毒和易燃样品流。

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商业道德方法

仕富梅的价值观支撑着我们的一切和所做的一切:它们指导我们的工作方式,为我们的决策提供依据并塑造我们的文化。
 

关于UHP气体分析和半导体生产的最新消息

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现在可用:我们新的以库仑为主题的专家解决方案杂志

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