DF高纯

DF-750 ULTRA是半导体行业水分分析的首选

DF-750 ULTRA是一种痕量/超痕量分析仪,经过优化,可对300毫米半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体进行行业最佳的水分测量。

适用于半导体制造过程中质量控制应用的水分测量方案

DF-750 ULTRA专为在各种UHP气体中进行痕量和超痕量水分测量而设计,针对300mm半导体工厂进行了优化。它测量作为电子级气体氮气,氢气,氦气,氩气和氧气中污染物的水分。

可调谐二极管激光(TDL)传感技术可提供业界领先的55 ppb(ppt)的下检测限(LDL),从而确保DF-750 ULTRA稳定,高精度的测量满足半导体生产的精确监控需求。

坚固的DF-750 ULTRA对使用寿命的维护要求低,并且具有零漂移稳定性,从而大大延长了校准间隔。这种低拥有成本与出色的测量性能相结合,意味着DF-750 ULTRA是用于UHP气体质量检查的首选分析解决方案。

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

高稳定性TDL迹线/超迹线测量

UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该
必须妥协。

绝不妥协的解决方案

DF-750 ULTRA旨在满足全球半导体制造商所要求的卓越的气体纯度标准。 DF-750 ULTRA利用先进的TDL传感技术,该技术安装在坚固且有弹性的Herriot Cell中,可避免水分与光学传感组件接触。结果是分析仪提供了超灵敏的,行业领先的55ppt下检测限,非常适合在各种UHP电子等级中检查微量水分
气体,包括N2,H2,He,Ar和O2。 DF-750 ULTRA拥有记录的数据,并可以通过灵活的存储和调用功能随时获得,是300mm半导体工厂中UHP气体监测的完整解决方案。

维护简单,降低了运营成本

UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该
必须妥协。

为您提供专业的分析系统方案

如果您需要构建一套气体分析系统,仕富梅专家随时可以提供帮助。我们会提供项目设计、构建和安装等方面的全方位支持,通过自始至终的密切协作和项目管理,确保提供的方案满足您的应用需求。

如需订购,请参照以下基本流程

轻松找到适合自身应用的仕富梅产品。

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我们的专家团队会帮助您选择合适的产品套件,包括相关配件和支持,确保为您提供最合适的分析仪

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我们将在最先进的工程中心装配好分析仪,并快速交付

The benefits of TDL moisture measurements

With low maintenance requirements and zero-drift stability, the DF-750 ULTRA provides high-specification measurement performance for a low cost of ownership.

存储和调取功能

校准,系统错误和测量数据有助于归档DF-750 ULTRA的运行历史记录。

业内领先的性能

DF-750 ULTRA具有极低的55ppt LDL,可提供半导体生产行业所需的灵敏度和精度。

可靠性高

通过最大程度地减少与光学组件的水接触,DF-750 ULTRA的可重复基线测量不受镜面反射率损失的影响,从而确保了准确性和稳定性。

无与伦比的性能
使用业界领先的高稳定性可调谐二极管激光器(TDL)轨迹感应,零漂移
耐气室污染分析:DF-750 ULTRA符合规范,信号损失高达90%
业界领先的55ppt检测下限
由仕富梅(Servomex)制造-超过60年的开拓性气体分析经验
现场使用的数千个单位

灵活
广泛的检测范围:0-20ppm
存储和调用功能:校准,系统错误和测量数据有助于归档操作历史记录
可通过前面板或数字通讯选项进行操作

易于使用
通过使用无损耗,低漂移潜力的TDL传感技术,简化了日常维护要求
高可靠性-可重复进行的基线测量不受镜面反射率损失的影响

拥有成本低
坚固的传感器结构降低了维护要求
零漂移的缺失延长了校准间隔

符合基准
IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

可检测气体、测量范围和传感技术

DF-750 ULTRA采用业界领先的无损耗,高稳定性,零漂移的TDL痕量感测技术,可测量电子级气体中痕量和超痕量水平的水分。

Gas 测量
水蒸气(水分) (H₂O)ppm, ppt, ppb

Technologies

證書

EC 61010-1

II类过电压,污染等级2

欧盟EMC指令
欧盟低压指令

原理图(选择展开)

尺寸

483毫米(19英寸)宽x 266毫米(10.5英寸)高x 608毫米(23.9英寸)深

重量

<31.8公斤(70磅)

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

资源和下载

我们已经编译了全面的DF-750 ULTRA资源包,您可以一次下载所有资源。立即下载以了解有关产品功能,优势和技术规格的更多信息。

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

手册和手册

想更多地了解DF-750 ULTRA?下载产品手册和操作手册,以概述分析仪的优势和功能。

ES Semicon杂志第25期

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ES ULTRA系列杂志

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DF-750 ULTRA 产品手册

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GC-PED与APIMS专家论文

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典型应用

DF-750 ULTRA设计用于测量UHP气体中的水分,是半导体行业应用的首选。

300毫米半导体工厂中使用的超高压电子气体的散装气体质量控制检查用于300mm半导体工厂的UHP电子气体泄漏检测检查

UHP Gases / Semiconductors

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