DF高纯

DF-750是半导体行业首选的水分分析仪

DF-750是针对300mm半导体制造中超高纯 (UHP) 气体测量而优化的一款微量级/超微量级水分分析仪。

适用于半导体制造过程中质量控制应用的水分测量方案

DF-750是针对300mm半导体制造过程而优化的一款分析仪,可以对一系列UHP气体进行微量级和超微量级水分测量。该款分析仪可以对电子工业级气体(包括氮气、氢气、氦气、氩气和氧气等)中的水分污染物进行测量。

可调谐激光二极管 (TDL) 传感技术可以提供业内领先的万亿分之100 (ppt) 的低检测限(LDL),从而确保DF-750高度稳定和精确的测量结果满足半导体生产的精密监测需求。

坚固耐用的DF-750具有所需维护少和零漂移稳定性等特点,可大大延长标定间隔。低持有成本和卓越测量性能使得DF-750成为UHP气体质量检验应用的首选分析解决方案。

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

高稳定性TDL迹线/超迹线测量

UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该
必须妥协。

绝不妥协的解决方案

DF-750旨在满足全球半导体制造商所要求的出色的气体纯度标准。 DF-750利用先进的TDL传感技术,该技术安装在坚固耐用且具有弹性的Herriot Cell中,可避免水分与光学传感组件接触。结果是分析仪提供了超灵敏的,业界领先的100ppt下检测限,非常适合在各种UHP电子等级中检查微量水分
气体,包括N 2 </ sub>,H 2 </ sub>,He,Ar和O 2 </ sub>。 DF-750具有记录的数据,并可以通过灵活的存储和调用功能方便地获得数据,是300mm半导体工厂中UHP气体监测的完整解决方案。

维护简单,降低了运营成本

UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该
必须妥协。

为您提供专业的分析系统方案

如果您需要构建一套气体分析系统,仕富梅专家随时可以提供帮助。我们会提供项目设计、构建和安装等方面的全方位支持,通过自始至终的密切协作和项目管理,确保提供的方案满足您的应用需求。

如需订购,请参照以下基本流程

轻松找到适合自身应用的仕富梅产品。

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TDL水分测量的优势

DF-750具备所需维护少和零漂移稳定性等特点,能以低持有成本实现高规格测量性能。

存储和调取功能

标定、系统误差和测量数据便于实现DF-750运行历史的存档。

业内领先的性能

DF-750具有100ppt的极低LDL,可以提供半导体生产行业所需要的灵敏度和精度。

可靠性高

通过尽可能减少水分与光学器件的接触,DF-750的可重复基准测量精度不受镜面反射率损耗的影响,从而可确保测量精度和稳定性。

无与伦比的性能
使用业界领先的,无损耗,高稳定性的TDL迹线感应,零漂移
业界领先的100ppt检测下限
由仕富梅(Servomex)制造-超过60年的气体分析先锋经验,在现场使用了数千种装置


灵活
痕量可调谐二极管激光器(TDL)感应可提供高稳定性,并减少与光学元件的湿气接触
广泛的检测范围:0-20ppm
存储和调用功能:校准,系统错误和测量数据有助于归档操作历史记录
可通过前面板或数字通讯选项进行操作


易于使用
通过使用无损耗,低漂移潜力的TDL传感技术,简化了日常维护要求
高可靠性;可重复的基线测量不受镜面反射率损失的影响


拥有成本低
坚固的传感器结构降低了维护要求
零漂移延长了校准间隔


基准合规
IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

可检测气体、测量范围和传感技术

采用业内领先、漂移为零、高度稳定的非损耗型TDL微量级传感技术,DF-750可对电子工业级气体进行微量级和超微量级水分测量。

Gas 测量
水蒸气(水分) (H₂O)ppm, ppt, ppb

Technologies

證書

EC 61010-1

II类过电压,污染等级2

欧盟EMC指令
欧盟低压指令

原理图(选择展开)

尺寸

483毫米(19英寸)宽x 266毫米(10.5英寸)高x 608毫米(23.9英寸)深

重量

<31.8公斤(70磅

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

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我们已经编译了全面的DF-750资源包,您可以一次下载所有资源。立即下载以了解有关产品功能,优势和技术规格的更多信息。

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

手册和手册

想更多地了解DF-750?下载产品手册和操作手册,以概述分析仪的优势和功能。

DF-750 NanoTrace使用手册

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DF-750产品说明书

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我们的视频使您有机会观看我们的产品,并听取专家的意见。您还可以看到我们的分析仪未包装,并找到有关我们针对关键应用的解决方案的更多信息

UHP整体解决方案

介绍面对UHP气体应用的独特的单一供应商解决方案

典型应用

DF-750设计用于测量UHP气体中的水分,是半导体工业应用的首选。

300毫米半导体工厂中使用的超高压电子气体的散装气体质量控制检查用于300mm半导体工厂的UHP电子气体泄漏检测检查

超高压气体/半导体

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