SERVOPRO安全区

NanoChrome可以实现UHP气体的超微量级测量

NanoChrome采用了先进的气体检测技术和信号处理方法,彻底革新了半导体行业中超微量级气体的纯度测量。

可靠的UHP监测

Chris Davis
Chris Davis
产品经理

NanoChrome是专为半导体制造行业而设计的一款高性能分析仪,可以在一系列常见背景气体(包括Ar、H2、氦气(He)、N2和氧气(O2)等)中对氩气(Ar)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、氢气(H2)、氮气(N2)和非甲烷烃类(NMHC)等气体进行高可靠性的监测。

NanoChrome使用了升级的大显示器和全新软件技术,以及仕富梅先进的等离子放射检测仪(PED)传感器和灵敏的ProPeak软件。

NanoChrome Analyser

低成本,高性能

相较于传统火焰离子化检测仪(FID)和还原气体检测(RGD)传感技术,NanoChrome使用的传感技术在性能、稳定性、安全性和低后续成本等方面都具有显著的优势。

仕富梅先进的信号恢复技术采用了获得专利的ProPeak过滤算法,可以提供高灵敏度和选择性的气体测量。NanoChrome无需使用甲烷化装置和易燃燃气,具有很高的成本优势。

超高压气体监测应用的权威解决方案

监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时,高灵敏度和性能至关重要。
合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性
普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。

绝不妥协的解决方案

NanoChrome是改变游戏规则的分析仪,可提供目前高水平的性能准确性和选择性。使用先进的专利PED感应技术,
与同类分析技术相比,该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体,还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时,可以将NanoChrome与DF-500(超痕量ppt O2)和DF-700(超痕量水分)分析仪系列结合使用。

维护简单,降低了运行成本

通过将Servomex专门开发的非消耗型PED技术与先进的处理和操作软件相结合,NanoChrome可以延长校准期限,从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法
智能信号处理功能可确保该设备提供更高的准确性,更大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互,而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。

Servomex System components

NanoChrome是仕富梅全套UHP分析系统的重要组成部分

如果您需要构建一套UHP气体分析系统,并要求产品来自统一供应商以便无缝集成,那么仕富梅随时可以提供帮助。请与我们的专家团队联系以了解更多详情。

准备购买?以下是基本流程

您可以轻松找到适合应用需求的仕富梅产品。

Servomex UK technical center

查询

联系我们,提出您的需求和目标应用

Servomex Gas System Schematics

咨询

我们的专家团队会帮助您选择合适的产品套件,包括相关配件和支持,确保为您提供的分析仪具备优异性能

woman Assembling Sensors

成交

您的分析仪将在我们全球先进的工程中心进行装配,并迅速发送到您的手里

最高可靠性的UHP气体监测

革命性的NanoChrome为半导体行业提供了极大的优势,既可作为独立设备使用,也可以作为仕富梅UHP整体气体分析方案的重要组成部分。

官方认证

NanoChrome符合低压指令、EMC和相关指令的要求。

PED传感器技术

采用高灵敏度的等离子放射检测仪技术,无需使用FID或RGD检测仪,从而避免了在安全性和高持有成本等方面的问题。

集成计算机,配有先进软件

每台分析仪都配有独特的Pro-Peak软件和可靠的Windows 10操作系统,以提供更高的安全性和稳定性。全自动系统和大显示屏大大简化了设备操作过程。

优异性能

  • 创新的高灵敏度等离子发射检测仪 (PED),可测量超微量级Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHCProPeak锁峰技术,确保超高测量灵敏度
  • 直接分析法,可避免FID和RGD的测量不确定性

 

灵活性

  • 综合解决方案,可在各种常见背景气体(包括He、H2、N2、Ar和O2)中测量超微量级H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC
  • 搭配DF-500微量级O2分析仪和DF-700微量级水分分析仪,可组成完整的UHP气体分析解决方案
  • 数字通信,可实现远程访问:互联网/以太网和RS232

 

易于操作

  • 综合报告监测软件,可查看气相色谱、过程结果、统计数据和历史测量值
  • 提供内置稀释系统选件
  • 无需可燃气体燃料,能增强安全性并简化安装过程

 

低持有成本

  • 非损耗型传感器和智能软件,可延长标定间隔
  • 无需甲烷发生器或气体燃料耗材
  • 高性价比,后续维护简单

 

符合标准

  • 产品符合低压指令、电磁兼容
    性 (EMC) 和相关适用指令

检测到的气体,测量和技术

NanoChrome可以对常见背景气体中的以下气体进行超微量级测量,在纯度监测应用中实现更高的可靠性。

加油站 测量
氩气 (Ar)ppb, ppt
甲烷 (CH₄)ppb, ppt
一氧化碳 (CO)ppb, ppt
二氧化碳 (CO₂)ppb, ppt
氢 (H₂)ppb, ppt
氮 (N₂)ppb, ppt
非甲烷碳氢化合物 (NMHC)ppb, ppt
氧 (O₂)ppb, ppt

Technologies

NanoChrome Analyser

资质认证

符合EMC指令,额定为II类过电压和2级污染

原理图(选择展开)

[ngg src=”galleries” ids=”23″ display=”basic_thumbnail” thumbnail_crop=”0″ number_of_columns=”1″]

尺寸

482毫米(18.9英寸)宽x 117毫米(4.6英寸)高x 600毫米(23.6英寸)深

重量

11-27kg(25-60lb)取决于应用

获取详细规格

要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。

Chris Davis
Chris Davis
产品经理

下载此强大的资源包以获取您需要了解的所有信息

我们已经将有关该产品的基本细节(包括技术规格和性能优势)组合到一个特殊的资源包中。现在就下载它以获取所需的所有信息。

Chris Davis
Chris Davis
产品经理

手册和手册

下载该产品的手册和手册,以了解其安装和操作方式。 您还将发现其功能和优势,并获取所需的所有技术数据。

ES Chroma NanoChrome杂志第19期

ES Chroma NanoChrome杂志第19期

SERVOPRO NanoChrome白皮书

SERVOPRO NanoChrome白皮书

SERVOPRO NanoChrome分析仪操作手册

SERVOPRO NanoChrome分析仪操作手册

SERVOPRO NanoChrome
产品手册

SERVOPRO NanoChrome
产品手册

你自己看

我们的视频使您有机会观看我们的产品,并听取专家的意见。 您还可以看到我们的分析仪未包装,并找到有关我们针对关键应用的解决方案的更多信息

拆箱:SERVOPRO NanoChrome

我们的专家Chris Davis和Roberto Alzaga演示如何拆开分析仪的包装

SERVOPRO NanoChrome

介绍我们面向半导体行业应用的高性能分析仪

UHP整体解决方案

介绍面对UHP气体应用的独特的单一供应商解决方案

典型应用

NanoChrome可为各种行业的应用和过程提供准确,可靠的气体分析。

半导体生产 – 质量控制|半导体生产 – 台式分析系统|UHP气体生产 – 质量控制

超高压气体/半导体

全面的系统解决方案

了解更多

© Copyright 2024 - Servomex is a Spectris company.
点击这里下载您选择的文件