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NanoChrome可以实现UHP气体的超微量级测量

NanoChrome采用了最先进的气体检测技术和信号处理方法,彻底革新了半导体行业中超微量级气体的纯度测量。

可靠的UHP监测

NanoChrome是专为半导体制造行业而设计的一款高性能分析仪,可以在一系列常见背景气体(包括Ar、H2、氦气(He)、N2和氧气(O2)等)中对氩气(Ar)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、氢气(H2)、氮气(N2)和非甲烷烃类(NMHC)等气体进行高可靠性的监测。

NanoChrome使用了升级的大显示器和最新软件技术,以及仕富梅先进的等离子放射检测仪(PED)传感器和灵敏的ProPeak软件。

Chris Davis
产品经理

低成本,高性能

相较于传统火焰离子化检测仪(FID)和还原气体检测(RGD)传感技术,NanoChrome使用的传感技术在性能、稳定性、安全性和低后续成本等方面都具有显著的优势。

仕富梅先进的信号恢复技术采用了获得专利的ProPeak过滤算法,可以提供高灵敏度和选择性的气体测量。NanoChrome无需使用甲烷化装置和易燃燃气,具有很高的成本优势。

超高压气体监测应用的权威解决方案

监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时,最高的灵敏度和性能至关重要。
合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性
普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。

绝不妥协的解决方案

NanoChrome是改变游戏规则的分析仪,可提供目前最高水平的性能准确性和选择性。使用领先的专利PED感应技术,
与同类分析技术相比,该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体,还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时,可以将NanoChrome与DF-500(超痕量ppt O2)和DF-700(超痕量水分)分析仪系列结合使用。

维护简单,降低了运行成本

通过将Servomex专门开发的非消耗性PED技术与先进的新处理和操作软件相结合,NanoChrome可以延长校准期限,从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法
智能信号处理功能可确保该设备提供最高的准确性,最大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互,而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。

NanoChrome是仕富梅全套UHP分析系统的重要组成部分

如果您需要构建一套UHP气体分析系统,并要求产品来自统一供应商以便无缝集成,那么仕富梅随时可以提供帮助。请与我们的专家团队联系以了解更多详情。

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您可以轻松找到适合应用需求的仕富梅产品。

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最高可靠性的UHP气体监测

革命性的NanoChrome为半导体行业提供了极大的优势,既可作为独立设备使用,也可以作为仕富梅UHP整体气体分析方案的重要组成部分。

官方认证

NanoChrome符合低压指令、EMC和相关指令的要求。

PED传感器技术

采用高灵敏度的等离子放射检测仪技术,无需使用FID或RGD检测仪,从而避免了在安全性和高持有成本等方面的问题。

集成计算机,配有先进软件

每台分析仪都配有独特的Pro-Peak软件和可靠的Windows 10操作系统,以提供更高的安全性和稳定性。全自动系统和大显示屏大大简化了设备操作过程。

灵活
在多种常见背景气体(包括He,H2,N2,Ar和O2)中提供超痕量H2,CH4,CO,CO2和NMHC的全面解决方案
与DF-500和DF-700分析仪结合使用时的完整独立UHP气体分析解决方案
灵活的通讯选项,包括以太网和4-20 mA输出
易于使用
全面的报告监控软件,可完全访问色谱图,过程结果,统计数据和历史值
内部稀释系统选件
不需要易燃气体,提高了安全性并简化了安装
大型,清晰的显示屏
拥有成本低
非耗尽传感器和智能软件延长了校准间隔
无需甲烷化器或消耗性燃气
经济高效且简化的日常维护
无与伦比的性能
创新的高灵敏度等离子体发射检测器(PED)可以超痕量测量Ar,N2,H2,CH4,CO和CO2
ProPeak峰值检测技术可实现前所未有的测量灵敏度
直接分析方法消除了FID和RGD测量的不确定性
更健壮和安全的Windows 10操作系统
基准合规

符合低压,EMC和适用的指令

检测到的气体,测量和技术

NanoChrome可以对常见背景气体中的以下气体进行超微量级测量,在纯度监测应用中实现最高的可靠性。

Gas 测量
氩气 (Ar)ppb, ppt
甲烷 (CH₄)ppb, ppt
一氧化碳 (CO)ppb, ppt
二氧化碳 (CO₂)ppb, ppt
氢 (H₂)ppb, ppt
氮 (N₂)ppb, ppt
非甲烷碳氢化合物 (NMHC)ppb, ppt
氧 (O₂)ppb, ppt

Technologies

资质认证

符合EMC指令,额定为II类过电压和2级污染

原理图(选择展开)

尺寸

482毫米(18.9英寸)宽x 117毫米(4.6英寸)高x 600毫米(23.6英寸)深

重量

11-27kg(25-60lb)取决于应用

 

获取详细规格

要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。

Chris Davis
产品经理

下载此强大的资源包以获取您需要了解的所有信息

我们已经将有关该产品的基本细节(包括技术规格和性能优势)组合到一个特殊的资源包中。现在就下载它以获取所需的所有信息。

Chris Davis
产品经理

手册和手册

下载该产品的手册和手册,以了解其安装和操作方式。 您还将发现其功能和优势,并获取所需的所有技术数据。

ES Chroma NanoChrome杂志第19期

ES Chroma NanoChrome杂志第19期

SERVOPRO NanoChrome白皮书

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SERVOPRO NanoChrome分析仪操作手册

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SERVOPRO NanoChrome分析仪说明书

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我们的视频使您有机会观看我们的产品,并听取专家的意见。 您还可以看到我们的分析仪未包装,并找到有关我们针对关键应用的解决方案的更多信息

拆箱:SERVOPRO NanoChrome

我们的专家Chris Davis和Roberto Alzaga演示如何拆开分析仪的包装

SERVOPRO NanoChrome

介绍我们面向半导体行业应用的高性能分析仪

UHP整体解决方案

介绍面对UHP气体应用的独特的单一供应商解决方案

典型应用

NanoChrome可为各种行业的应用和过程提供准确,可靠的气体分析。

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