DF高纯

DF-760E是一款用于UHP气体的水分/ O2双组分分析仪

紧凑的DF-760E设计用于UHP大宗气体的质量控制应用,为微量级和超微量级水分(H2O) 和氧气 (O2) 双组分测量提供了一种独特的解决方案

适用于UHP大宗气体质量控制应用的双组分测量解决方案

DF-760E是针对集成电路板制造中UHP大宗气体监测而设计的一款分析仪,为同时监测微量级水分和氧气提供了一种紧凑的一体化解决方案。

DF-760E在紧凑的空间内集成了业内领先的仕富梅非损耗型库仑电量法传感器和坚固耐用的可调谐激光二极管(TDL)技术,可以对等氮气 (N2)、氢气 (H2)、氦气 (He)、氧气(O2)和氩气 (Ar)(仅限O2中的H2O)背景气体混合物中的超低含量H2O和O2进行测量。

Dan Johnson
产品与服务全球负责人– P&S

业内领先的测量性能

DF-760E具有业内领先的100 ppt (H2O)和45ppt (O2)超低检测限(LDL),可以实现快速响应、无与伦比的稳定性而且不受微量级酸性物质腐蚀,是半导体制造行业质量检验和泄漏检测应用的理想之选

采用灵活的零漂移传感技术,无需后续标定,这种低维护设计可实现无与伦比的测量性能。

高稳定性TDL迹线/超迹线测量

当您从事集成电路板的制造时,电子级UHP气体的质量控制至关重要。要测量作为微量污染物的O2和水分,您需要一种高度敏感的测量方法,其测量范围可以降至最低水平。快速响应和稳定的测量可靠性是必须的。而且,无论您的测量要求如何,您都需要一种能够提高运营效率的解决方案。我们认为您不必妥协。

绝不妥协的解决方案

DF-760E是唯一通过Servomex的领先TDL和库仑电子传感器技术提供的用于超痕量水分和氧气的组合分析解决方案。低LDL – 100ppt(H2O)/ 45ppt(O2)-提供了所需的灵敏度,并且能够通过单个设备测量N2,H2,He,Ar和O2背景气体的多种气流,从而提供了相当大的适应性以适合您的气体质量检查需求。

维护简单,降低了运营成本

通过在一个紧凑的一体式解决方案中提供双重分析功能,DF-760E减少了因分别使用单独的O2和H2O分析仪而产生的占地面积,基础架构和维护成本。通过提供始终可靠,快速的响应速度和零漂移,DF-760E有助于延长维护和校准间隔,而工厂预校准则简化了设置和安装。这确保了DF-760E为半导体行业提供集成的增值解决方案。

需要气体分析系统吗?联系专家

我们的气体分析专业知识和技术范围可确保我们能够为您的过程需求提供系统。有关从头到尾的协作方法和项目管理的信息,请立即联系。

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履行

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双重测量功能的独特优势

DF-760E提供了业界领先的低检测下限(LDL),对于单一溶液,水分含量为100ppt,氧气含量为45ppt,以追踪污染物的测量值。

广泛检测

DF-760E在0-20ppm至0-2ppb min。和0-20ppm至0-1ppb min的范围内执行H2O测量。用于氧气测量。

维护最少

非消耗电量分析法和TDL传感技术降低了持续的成本,而零传感器漂移则延长了DF-760E的校准间隔。

易于使用

单个DF-760E能够通过前面板或数字通信协议进行操作,可用于多种背景气体的双重测量。

无与伦比的性能
稳定,准确的感应提供业界领先的痕量测量
100ppt LDL(H2O)/ 45ppt LDL(O2)
由仕富梅(Servomex)制造-超过60年的气体分析先锋经验,已在现场使用了数千种单位


灵活
ppt监测水分和氧气的独特行业解决方案
可通过前面板或数字通讯选项进行操作
广泛的检测范围:0-20ppm – 0-2ppb min(H2O)/ 0-20ppm – 0-1ppb min(O2)


易于使用
双重分析功能为H2O / O2痕量污染物测量提供了“一体式”解决方案
单个分析仪可用于多种背景气体:N2,H2,He,Ar和O2


拥有成本低
弹性的TDL和电量耗尽的库仑感测需要最少的持续维护
零传感器漂移大大延长了校准间隔
库仑电子传感器不受酸损害


基准合规
IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

检测到的气体,测量和技术

DF-760E结合了非消耗电量分析传感器和强大的TDL技术,可对多种背景气体中的水分和氧气进行痕量和超痕量测量。

Gas 测量
氧 (O₂)ppm, ppb, ppt
水蒸气(水分) (H₂O)ppm, ppb, ppt

Technologies

证明书

IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

原理图(选择展开)

尺寸

483公厘(19吋)宽x 266公厘

(10.5英寸)高x 608毫米(23.9英寸)深

重量

31.8公斤(70磅)

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

下载DF-760E资源包

“通过完整的资源包,可以找到有关DF-760E的功能,优势和技术规格的更多信息。我们将您需要了解的所有内容汇总到一个简单的下载文件中。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

手册和手册

想更多地了解DF-760E的性能和功能?立即下载我们的产品手册和操作手册。

DF-760E使用手册

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DF-760E产品说明书

DF-760E产品说明书

你自己看

我们的视频使您有机会观看我们的产品,并听取专家的意见。您还可以看到我们的分析仪未包装,并找到有关我们针对关键应用的解决方案的更多信息

UHP整体解决方案

介绍面对UHP气体应用的独特的单一供应商解决方案

DF-700水分分析仪系列

介绍了这些超微量级分析仪如何实现业界领先的精度

典型应用

DF-760E旨在监测集成电路板制造中所用UHP散装气体的纯度,可对O2和H2O进行独特的低水平双重测量。

集成电路板工厂的散装气体质量控制检查|泄漏检测检查

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