DF高纯

DF-560E ULTRA可提供行业领先的超痕量O2检测

现在,DF-560E ULTRA的异常低检测下限(LDL)为每百万分之45(ppt)。一旦DF-560E ULTRA的测量值低于1 ppb,单位将自动转换为ppt,从而为半导体行业提供行业最佳的氧气(O2)测量,以控制超高纯度(UHP)电子级气体的质量。

以最低检测限提供超微量级O2测量

DF-560E ULTRA可以提供超低检测极限的超微量水平测量,为半导体行业提供业界领先的45ppt LDL。该产品灵活,适应性强,不仅可以有效地监测多种背景气体中的氧气,而且还支持多种数据记录格式。

DF-560E ULTRA采用Servomex的超稳定库仑电法传感技术,可以满足复杂的工作条件要求,并在变化的样品气体和流量条件下可以快速响应。

Douglas Barth
高级全球产品经理

精心设计,简单易用

DF-560E ULTRA是半导体工厂和分析推车的理想选择,经过优化,易于使用和便携。通过前面板或数字通讯进行操作,而手提选项使运输变得容易。

DF-560E ULTRA还通过其不消耗,工厂校准的库仑技术降低了运营成本,从而提供了具有成本效益的设置和配置。唯一正在进行的维护要求是年度跨度校准,而无需更换可编程单元。

高稳定性库仑法痕量和百分比测量

当出于质量控制或泄漏检测目的而需要测量作为污染物的超痕量氧气时,您需要一种具有性能,稳定性和可靠性的气体分析仪。最低的LDL是必不可少的,因为在容易发生样品和流速波动的不安定应用中执行一致的高稳定性测量的能力也很重要。还需要可测量多种背景气体和灵活便携性的适应性配置选项,以及全面的数据记录和图形记录。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低您的持续成本并提高运营效率的分析仪,我们认为您不必为此妥协。

绝不妥协的解决方案

DF-560E ULTRA将氧气测量值降至最低水平,为用户提供了45ppt的出色LDL。多种扩展的操作功能增强了这种行业领先的性能。自动维护会按计划执行自动归零和量程校准,或者执行计划的自动检查并在需要校准时通知用户。自动维护日志记录水添加量,传感器数据和校准活动,以确保符合ISO记录要求,而自动数据记录则建立分析仪读数的四天和三十天图形记录。

维护简单,降低了运行成本

DF-560E ULTRA具有经过5年保修的预校准,长寿命传感器,可在整个产品使用寿命内显着降低成本。此后,DF-560E ULTRA仅需要进行年度跨度校准,而无需可编程单元更换。还提供了自动维护记录功能,并且DF-560E ULTRA带有可选的校准选项。定期自动调零和量程,并通知需要校准;以及一个手动校准系统-紧凑地集成在面板的背面,可增强设备的便携性。

专业支持您的分析系统

如果您希望将DF-560E ULTRA包括在新系统或现有系统中,我们的专家团队将为您提供帮助。有关建议,项目管理和高质量工程的信息,请立即联系以了解更多信息。

如需订购,请参照以下基本流程

轻松找到适合自身应用的仕富梅产品

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我们的专家团队会帮助您选择合适的产品套件,包括相关配件和支持,确保为您提供最合适的分析仪

成交

我们将在最先进的工程中心装配好分析仪,并快速交付

行业领先的优势

DF-560E ULTRA是用于UHP气体中超痕量氧气测量的灵活,适应性强的解决方案。

无与伦比的性能

DF-560E ULTRA的45ppt O2的LDL是半导体行业中可用的最低水平。

复杂工况应用的理想之选

DF-560E ULTRA使用的高度稳定的库仑传感器可补偿样品和流速波动,从而提供一致的高稳定性测量。

扩展操作功能

自动维护功能会定期进行零点和量程标定,或自动定期检查并通知用户何时需要标定

无与伦比的性能
业界领先的45ppt检测下限(LDL)
使用行业领先的库仑电子传感器技术
响应速度快,可迅速警告操作员超出规格的气体状况
广泛的检测范围:0-1ppb至0-20ppm

灵活
适用于H2,He,CH4,CO,N2,Ar和多种碳氟化合物和弱酸性气体
传感器可补偿样品和流速的波动-非常适合烦恼的应用
备用电池可选
用于18种不同的样气。标配我们的气体比例系数功能

易于使用
板载校准系统选件兼具灵活性和便携性
可选的校准系统,可紧凑地集成到面板背面,优化了设备的便携性
可通过前面板或数字通讯选项进行操作
具有4天和30天图形阅读记录的全面自动化数据记录

拥有成本低
工厂校准的传感器,简化了调试
非损耗库仑传感器,具有五年保修
仅需要年度跨度校准和每季度添加RSA
无需昂贵的净化器更换

基准合规
IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

可检测气体、测量范围和检测技术

DF-560E ULTRA使用我们的无消耗,高度稳定的库仑O2传感器,可监测多种背景气体中的最低O2水平。

Gas 测量
氧 (O₂)ppt, ppm, ppb

Technologies

證書

IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

原理图(选择展开)

尺寸

309毫米(12.1英寸)宽x 203(7.9英寸)高x 253毫米(9.9英寸)深

重量

8.2公斤(18磅)

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Douglas Barth
高级全球产品经理

下载您需要的所有DF-560E ULTRA信息

“我们已经汇编了完整的资源包,其中包含有关DF-560E ULTRA的全部信息,并且都可以轻松下载。现在就获取它,以了解行业领先的超痕量氧气分析仪的优势和技术规格。”

Douglas Barth
高级全球产品经理

手册和手册

是否需要有关DF-560E的功能和优点的更多信息?立即下载操作手册和产品手册。

ES Semicon杂志第25期

ES Semicon杂志第25期

ES ULTRA系列杂志

ES ULTRA系列杂志

DF-560E ULTRA 产品手册

DF-560E ULTRA 产品手册

GC-PED与APIMS专家论文

GC-PED与APIMS专家论文

典型应用

DF-560E ULTRA专为半导体工厂和分析推车而设计,可在UHP电子级气体中进行超痕量O2测量。

电子级气体的质量控制检查|电子级气体泄漏检测

UHP Gases / Semiconductors

A comprehensive systems solution

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