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NanoChrome ULTRA可提供超高纯气体的超痕量测量

革命性的NanoChrome ULTRA是半导体行业中超痕量纯度测量的首选,革命性的NanoChrome ULTRA结合了气体传感和信号处理方法的最新进展,具有卓越的性能。

可靠的UHP监测

NanoChrome ULTRA是专为半导体制造业设计的高性能分析仪,可对氩气(Ar),甲烷(CH4),一氧化碳(CO),二氧化碳(CO2),氢气(H2),氮气进行最高可靠性的监控(N2)和非甲烷碳氢化合物(NMHC),包括Ar,H2,氦(He),N2和氧气(O2)。

NanoChrome ULTRA更新了更大的显示屏和最新软件,使用了先进的等离子发射检测器(PED)传感器和灵敏的ProPeak软件,这两种软件都是由Servomex专门开发的。

Chris Davis
产品经理

低成本,高性能

NanoChrome ULTRA的传感技术在性能,稳定性,安全性和降低持续成本的能力方面,比传统的火焰离子化检测器(FID)和还原气体检测(RGD)传感技术具有明显优势。

Servomex的高级信号恢复使用获得专利的ProPeak滤波方法来提供您可以信赖的高度敏感和选择性的测量。 NanoChrome ULTRA不需要甲烷化器或不需要可燃气体,也可带来可观的成本优势。

超高压气体监测应用的权威解决方案

监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时,最高的灵敏度和性能至关重要。
合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性
普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。

绝不妥协的解决方案

NanoChrome ULTRA是改变游戏规则的分析仪,可提供目前最高水平的性能精度和选择性。使用领先的专利PED感应技术,
与同类分析技术相比,该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体,还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome ULTRA可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时,可以将NanoChrome ULTRA与DF-500(超痕量ppt O2)和DF-700(超痕量水分)分析仪系列结合使用。

维护简单,降低了运行成本

通过将Servomex专门开发的非消耗性PED技术与先进的新处理和操作软件相结合,NanoChrome ULTRA可以延长校准周期,从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法
智能信号处理功能可确保该设备提供最高的准确性,从而最大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互,而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome ULTRA成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。

NanoChrome ULTRA是我们用于UHP分析的整个系统解决方案的一部分

如果您需要构建一套UHP气体分析系统,并要求产品来自统一供应商以便无缝集成,那么仕富梅随时可以提供帮助。请与我们的专家团队联系以了解更多详情。

Ready to buy? Here’s how it works

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最高可靠性的UHP气体监测

革命性的NanoChrome ULTRA可作为独立设备或作为Servomex超高压气体整体解决方案的一部分,为半导体行业带来重大利益

官方认证

NanoChrome ULTRA符合低压,EMC和适用的指令。

PED传感器技术

采用高灵敏度的等离子放射检测仪技术,无需使用FID或RGD检测仪,从而避免了在安全性和高持有成本等方面的问题。

集成计算机,配有先进软件

每台分析仪都配有独特的Pro-Peak软件和可靠的Windows 10操作系统,以提供更高的安全性和稳定性。全自动系统和大显示屏大大简化了设备操作过程。

无与伦比的性能
创新的高灵敏度等离子体发射检测器(PED)可对Ar,N2,H2,CH4,CO和CO2以及NMHC进行超痕量测量
ProPeak峰值检测技术可实现前所未有的测量灵敏度
直接分析方法消除了FID和RGD测量的不确定性

灵活
全面的解决方案。在多种常见背景气体(包括He,H2,N2,Ar和O2)中的超痕量H2,CH4,CO,CO2,N2,Ar和NMHC
当与用于微量O2的DF-500分析仪和用于微量水分的DF-700分析仪结合使用时,一个完整的独立的UHP气体分析解决方案
用于远程访问的数字通信:Internet /以太网和RS232

易于使用
全面的报告监控软件,可完全访问色谱图,过程结果,统计数据和历史值
内部稀释系统选件
不需要易燃气体,提高了安全性并简化了安装

拥有成本低
非耗尽传感器和智能软件延长了校准间隔
无需甲烷化器或消耗性燃气
经济高效且简化的日常维护

符合基准
符合低
电压,EMC和适用的指令

检测到的气体,测量和技术

NanoChrome ULTRA以超痕量水平测量常见背景气体中的以下气体,以实现纯度监测的最高可靠性。

Gas 测量
氩气 (Ar)ppb, ppt
甲烷 (CH₄)ppb, ppt
一氧化碳 (CO)ppb, ppt
二氧化碳 (CO₂)ppb, ppt
氢 (H₂)ppb, ppt
氮 (N₂)ppb, ppt
非甲烷碳氢化合物 (NMHC)ppb, ppt
氧 (O₂)ppb, ppt

Technologies

资质认证

符合EMC指令,额定为II类过电压和2级污染

原理图(选择展开)

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尺寸

482毫米(18.9英寸)宽x 117毫米(4.6英寸)高x 600毫米(23.6英寸)深

重量

11-27kg(25-60lb)取决于应用

获取详细规格

要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。

Chris Davis
产品经理

下载此强大的资源包以获取您需要了解的所有信息

“我们的NanoChrome ULTRA资源包包含发现分析仪如何增强过程性能所需的所有信息,包括产品手册和操作手册。”

Chris Davis
产品经理

手册和手册

下载该产品的手册和手册,以了解其安装和操作方式。 您还将发现其功能和优势,并获取所需的所有技术数据。

SERVOPRO NanoChrome Ultra 备件说明书

SERVOPRO NanoChrome Ultra 备件说明书

NanoChrome ULTRA 使用说明书

NanoChrome ULTRA 使用说明书

Nanochrome ULTRA产品手册和技术数据

Nanochrome ULTRA产品手册和技术数据

ES Semicon杂志第25期

ES Semicon杂志第25期

典型应用

NanoChrome ULTRA可为各种行业的应用和过程提供准确,可靠的气体分析。

半导体生产-质量控制措施| 半导体生产-固定分析系统

UHP Gases / Semiconductors

A comprehensive systems solution

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