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我们稳定可靠的气体分析解决方案可测量超过20种气体，可达到业界先进的精度和稳定性。
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革命性的NanoChrome ULTRA是半导体行业中超痕量纯度测量的优选，革命性的NanoChrome ULTRA结合了气体传感和信号处理方法的全新进展，具有非凡的性能。
NanoChrome ULTRA是专为半导体制造业设计的高性能分析仪，可对氩气（Ar），甲烷（CH4），一氧化碳（CO），二氧化碳（CO2），氢气（H2），氮气进行最高可靠性的监控（N2）和非甲烷碳氢化合物（NMHC），包括Ar，H2，氦（He），N2和氧气（O2）。
NanoChrome ULTRA更新了更大的显示屏和全新软件，使用了先进的等离子发射检测器（PED）传感器和灵敏的ProPeak软件，这两种软件都是由Servomex专门开发的。
NanoChrome ULTRA的传感技术在性能，稳定性，安全性和降低持续成本的能力方面，比传统的火焰离子化检测器（FID）和还原气体检测（RGD）传感技术具有明显优势。
Servomex的高级信号恢复使用获得专利的ProPeak滤波方法来提供您可以信赖的高度敏感和选择性的测量。 NanoChrome ULTRA不需要甲烷化器或不需要可燃气体，也可带来可观的成本优势。
监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时，更高的灵敏度和性能至关重要。 合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性， 普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么，您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。
NanoChrome ULTRA是改变游戏规则的分析仪，可提供目前超高水平的性能精度和选择性。使用先进的专利PED感应技术， 与同类分析技术相比，该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体，还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome ULTRA可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时，可以将NanoChrome ULTRA与DF-500（超痕量ppt O2）和DF-700（超痕量水分）分析仪系列结合使用。
通过将Servomex专门开发的非消耗型PED技术与先进的处理和操作软件相结合，NanoChrome ULTRA可以延长校准周期，从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法 智能信号处理功能可确保该设备提供高准确性，从而更大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互，而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome ULTRA成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。
如果您需要构建一套UHP气体分析系统，并要求产品来自统一供应商以便无缝集成，那么仕富梅随时可以提供帮助。请与我们的专家团队联系以了解更多详情。
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我们的专家团队会帮助您选择合适的产品套件，包括相关配件和支持，确保为您提供的分析仪具备优异性能
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革命性的NanoChrome ULTRA可作为独立设备或作为Servomex超高压气体整体解决方案的一部分，为半导体行业带来重大利益
NanoChrome ULTRA符合低压，EMC和适用的指令。
采用高灵敏度的等离子放射检测仪技术，无需使用FID或RGD检测仪，从而避免了在安全性和高持有成本等方面的问题。
每台分析仪都配有独特的Pro-Peak软件和可靠的Windows 10操作系统，以提供更高的安全性和稳定性。全自动系统和大显示屏大大简化了设备操作过程。
非凡的性能 创新的高灵敏度等离子体发射检测器（PED）可对Ar，N2，H2，CH4，CO和CO2以及NMHC进行超痕量测量 ProPeak峰值检测技术可实现更显著的测量灵敏度 直接分析方法消除了FID和RGD测量的不确定性
灵活 全面的解决方案。在多种常见背景气体（包括He，H2，N2，Ar和O2）中的超痕量H2，CH4，CO，CO2，N2，Ar和NMHC 当与用于微量O2的DF-500分析仪和用于微量水分的DF-700分析仪结合使用时，一个完整的独立的UHP气体分析解决方案 用于远程访问的数字通信：Internet /以太网和RS232
易于使用 全面的报告监控软件，可完全访问色谱图，过程结果，统计数据和历史值 内部稀释系统选件 不需要易燃气体，提高了安全性并简化了安装
拥有成本低 非耗尽传感器和智能软件延长了校准间隔 无需甲烷化器或消耗性燃气 经济高效且简化的日常维护
符合基准 符合低 电压，EMC和适用的指令
NanoChrome ULTRA以超痕量水平测量常见背景气体中的以下气体，以实现纯度监测的最高可靠性。
Technologies
符合EMC指令，额定为II类过电压和2级污染
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482毫米（18.9英寸）宽x 117毫米（4.6英寸）高x 600毫米（23.6英寸）深
11-27kg（25-60lb）取决于应用
“要获得深入的规范，您将需要下载我们的技术数据表，其中包括有关技术，性能，操作环境，样品条件和合规性的信息，以及技术图纸和顶级收益和应用。”
“我们的NanoChrome ULTRA资源包包含发现分析仪如何增强过程性能所需的所有信息，包括产品手册和操作手册。”
下载该产品的手册和手册，以了解其安装和操作方式。 您还将发现其功能和优势，并获取所需的所有技术数据。
NanoChrome ULTRA 使用说明书
SERVOPRO Nanochrome ULTRA 产品手册
ES Semicon杂志第25期
ES ULTRA系列杂志
NanoChrome ULTRA可为各种行业的应用和过程提供准确，可靠的气体分析。
半导体生产-质量控制措施| 半导体生产-固定分析系统
A comprehensive systems solution