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NanoChrome ULTRA可提供超高纯气体的超痕量测量

革命性的NanoChrome ULTRA是半导体行业中超痕量纯度测量的首选,革命性的NanoChrome ULTRA结合了气体传感和信号处理方法的最新进展,具有卓越的性能。

可靠的UHP监测

NanoChrome ULTRA是专为半导体制造业设计的高性能分析仪,可对氩气(Ar),甲烷(CH4),一氧化碳(CO),二氧化碳(CO2),氢气(H2),氮气进行最高可靠性的监控(N2)和非甲烷碳氢化合物(NMHC),包括Ar,H2,氦(He),N2和氧气(O2)。

NanoChrome ULTRA更新了更大的显示屏和最新软件,使用了先进的等离子发射检测器(PED)传感器和灵敏的ProPeak软件,这两种软件都是由Servomex专门开发的。

Chris Davis
产品经理

低成本,高性能

NanoChrome ULTRA的传感技术在性能,稳定性,安全性和降低持续成本的能力方面,比传统的火焰离子化检测器(FID)和还原气体检测(RGD)传感技术具有明显优势。

Servomex的高级信号恢复使用获得专利的ProPeak滤波方法来提供您可以信赖的高度敏感和选择性的测量。 NanoChrome ULTRA不需要甲烷化器或不需要可燃气体,也可带来可观的成本优势。

超高压气体监测应用的权威解决方案

监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时,最高的灵敏度和性能至关重要。
合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性
普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。

绝不妥协的解决方案

NanoChrome ULTRA是改变游戏规则的分析仪,可提供目前最高水平的性能精度和选择性。使用领先的专利PED感应技术,
与同类分析技术相比,该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体,还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome ULTRA可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时,可以将NanoChrome ULTRA与DF-500(超痕量ppt O2)和DF-700(超痕量水分)分析仪系列结合使用。

维护简单,降低了运行成本

通过将Servomex专门开发的非消耗性PED技术与先进的新处理和操作软件相结合,NanoChrome ULTRA可以延长校准周期,从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法
智能信号处理功能可确保该设备提供最高的准确性,从而最大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互,而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome ULTRA成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。

NanoChrome ULTRA是我们用于UHP分析的整个系统解决方案的一部分

如果您需要构建一套UHP气体分析系统,并要求产品来自统一供应商以便无缝集成,那么仕富梅随时可以提供帮助。请与我们的专家团队联系以了解更多详情。

Ready to buy? Here’s how it works

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最高可靠性的UHP气体监测

革命性的NanoChrome ULTRA可作为独立设备或作为Servomex超高压气体整体解决方案的一部分,为半导体行业带来重大利益

官方认证

NanoChrome ULTRA符合低压,EMC和适用的指令。

PED传感器技术

采用高灵敏度的等离子放射检测仪技术,无需使用FID或RGD检测仪,从而避免了在安全性和高持有成本等方面的问题。

集成计算机,配有先进软件

每台分析仪都配有独特的Pro-Peak软件和可靠的Windows 10操作系统,以提供更高的安全性和稳定性。全自动系统和大显示屏大大简化了设备操作过程。

无与伦比的性能
创新的高灵敏度等离子体发射检测器(PED)可对Ar,N2,H2,CH4,CO和CO2以及NMHC进行超痕量测量
ProPeak峰值检测技术可实现前所未有的测量灵敏度
直接分析方法消除了FID和RGD测量的不确定性

灵活
全面的解决方案。在多种常见背景气体(包括He,H2,N2,Ar和O2)中的超痕量H2,CH4,CO,CO2,N2,Ar和NMHC
当与用于微量O2的DF-500分析仪和用于微量水分的DF-700分析仪结合使用时,一个完整的独立的UHP气体分析解决方案
用于远程访问的数字通信:Internet /以太网和RS232

易于使用
全面的报告监控软件,可完全访问色谱图,过程结果,统计数据和历史值
内部稀释系统选件
不需要易燃气体,提高了安全性并简化了安装

拥有成本低
非耗尽传感器和智能软件延长了校准间隔
无需甲烷化器或消耗性燃气
经济高效且简化的日常维护

符合基准
符合低
电压,EMC和适用的指令

检测到的气体,测量和技术

NanoChrome ULTRA以超痕量水平测量常见背景气体中的以下气体,以实现纯度监测的最高可靠性。

Gas 测量
氩气 (Ar)ppb, ppt
甲烷 (CH₄)ppb, ppt
一氧化碳 (CO)ppb, ppt
二氧化碳 (CO₂)ppb, ppt
氢 (H₂)ppb, ppt
氮 (N₂)ppb, ppt
非甲烷碳氢化合物 (NMHC)ppb, ppt
氧 (O₂)ppb, ppt

Technologies

资质认证

符合EMC指令,额定为II类过电压和2级污染

原理图(选择展开)

尺寸

482毫米(18.9英寸)宽x 117毫米(4.6英寸)高x 600毫米(23.6英寸)深

重量

11-27kg(25-60lb)取决于应用

 

获取详细规格

要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。

Chris Davis
产品经理

下载此强大的资源包以获取您需要了解的所有信息

“我们的NanoChrome ULTRA资源包包含发现分析仪如何增强过程性能所需的所有信息,包括产品手册和操作手册。”

Chris Davis
产品经理

手册和手册

下载该产品的手册和手册,以了解其安装和操作方式。 您还将发现其功能和优势,并获取所需的所有技术数据。

ES Semicon杂志第25期

ES Semicon杂志第25期

ES ULTRA系列杂志

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GC-PED与APIMS专家论文

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典型应用

NanoChrome ULTRA可为各种行业的应用和过程提供准确,可靠的气体分析。

半导体生产-质量控制措施| 半导体生产-固定分析系统

UHP Gases / Semiconductors

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