SERVOPRO 产品系列

为安全区域应用提供可靠、稳定且精准的气体测量

SERVOPRO 分析仪采用我们丰富的非消耗型气体传感技术组合,包括顺磁、氧化锆、火焰离子化检测、等离子体以及气相色谱技术,适用于广泛的应用场景。

这些灵活的分析仪既可满足特定的测量需求,例如合成气、烃类或痕量气体混合物分析,也可为连续排放监测系统或空分装置等应用提供多组分气体监测能力。

SERVOPRO 提供精准的安全区域气体分析

SERVOPRO 系列在工业气体(IG)和半导体市场的分析领域树立了行业标准,在测量灵敏度方面处于领先地位。

多种传感技术选择

灵活的 SERVOPRO 系列专为满足工业气体(IG)和半导体应用中广泛的测量需求而设计。为此,该系列采用多种传感技术,包括非接触式、非消耗型测量方法,覆盖丰富的气体种类和测量范围,可满足多种安全区域应用的需求。
asurements in IG and semiconductor applications. To this end, it uses an array of sensing technologies, including non-contact, non-depleting methods, covering a generous selection of gases and measurement ranges, to meet the needs of multiple safe area applications.

行业领先的检测水平

无论是监测空分装置气体中的杂质,还是确保半导体气体达到最高纯度水平,SERVOPRO 系列都能胜任。它可提供所需的测量灵敏度和性能,实现从百分比级读数到市场上最低痕量检测水平的精准测量。

易于使用并便于集成

SERVOPRO 系列专为简便操作而设计,可用于台式安装,也可安装在 19 英寸机架中。所有分析仪均具备丰富的功能,可通过直观的内置软件直接操作,或通过多种模拟和数字通信方式进行远程控制,确保当前及未来都能实现高效运行。

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SERVOPRO 4900 Multigas

SERVOPRO Safe Area

4900 Multigas是一款高性能CEMS分析仪,设计用于多种多气体测量。

Servopro-Servomex-04900-multigas-featured.png
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SERVOPRO Chroma

SERVOPRO Safe Area

色度已针对特定背景气体进行了优化,以确保为您的应用提供最佳性能。

Servopro Servomex Chroma
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SERVOPRO DF-550E

SERVOPRO Safe Area

DF-550E是一种超痕量库仑氧气分析仪,针对超高纯电子气体的质量测量进行了优化

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SERVOPRO DF-560E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-560E ULTRA为半导体行业提供业界出色的氧气(O2)测量,用于超高纯(UHP)电子级气体的质量控制。

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SERVOPRO DF-745

SERVOPRO Safe Area

DF-745提供了水分的痕量和超痕量测量,可用于LED / LCD制造过程中的超高纯度(UHP)电子气体检查。

DF 745_3sq
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SERVOPRO DF-745 SGMax

SERVOPRO Safe Area

DF-745 SGMax设计用于测量特殊气体混合应用中的多种气体混合物。

DF 745 G MAX_2sq
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SERVOPRO DF-749

SERVOPRO Safe Area

DF-749 提供各种背景气体中的痕量和超痕量水分污染物测量,是 LCD 和 LED 制造中使用的 UHP 气体质量检查的理想选择。

DF 750_3sq
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SERVOPRO DF-750

SERVOPRO Safe Area

DF-750是一种痕量/超痕量水分分析仪,针对用于300mm半导体工厂的超高纯度(UHP)气体的测量进行了优化。

DF 750_3sq
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SERVOPRO DF-750 ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。

DF 750 ULTRA 2sq
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SERVOPRO DF-760E

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E分析仪专为超高压散装气体的质量控制应用而设计,是用于微量和微量微量水分双重测量的独特解决方案

DF 760E_2sq
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SERVOPRO DF-760E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。

DF 760 E ULTRA 2sq
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SERVOPRO MonoExact DF150E

SERVOPRO Safe Area

MonoExact DF150E将Servomex久经考验的库仑式氧气传感器的可靠性与更人性化的包装相结合。

Servopro Servomex MonoExact DF150E
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SERVOPRO MonoExact DF310E

SERVOPRO Safe Area

专为精确测量工业气体(IG)应用中的氧气而设计。

Servopro Servomex MonoExact DF310E
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SERVOPRO MultiExact 4100

SERVOPRO Safe Area

一种高性能的多气体分析仪,旨在提供多达四个同时的气流测量。

SERVOPRO MultiExact 4100
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SERVOPRO MultiExact 4200

SERVOPRO Safe Area

MultiExact 4200可同时分析多达四种气体合成气和HyCO

MultiExact 4200 product servomex
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SERVOPRO NanoChrome

SERVOPRO Safe Area

结合气体传感和信号处理方法的最新进展,NanoChrome彻底改变了超痕量纯度的测量方法。

NanoChrome
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SERVOPRO NanoChrome ULTRA

SERVOPRO Safe Area

通过使用成熟的超痕量传感技术,NanoChrome ULTRA征服了半导体行业最严格的要求,与竞争技术相比,提供了一种经济高效的解决方案。

The revolutionary NanoChrome ULTRA for ultra-trace purity measurements
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SERVOPRO PureGas

SERVOPRO Safe Area

基于吸气剂的净化装置,用于净化气相色谱(GC)和其他分析应用中使用的载气

SERVOPRO PureGas
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