水分和水蒸气的可靠测量

Matt Chambers
纯度与专业业务部经理

仕富梅是您过程水分分析的专家,拥有范围广泛的水分分析仪产品,可在各种应用中测量 H2O。我们多样化的水分测量解决方案包括业界先进的低水平痕量测量解决方案,适用于要求极苛刻的半导体和超高纯气体应用,以及用于一般工业气体纯度监测和具有挑战性的工业过程条件的水分分析仪。

为什么要测量水分?

作为污染物,水分会显著影响产品质量和工艺效率。它可能会降低生产率、损坏设备并导致计划外停机。过程气体中 H2O 水平的准确测量取决于使用适合每种应用的正确传感技术。作为专业的水分分析仪制造商,仕富梅提供范围广泛的传感技术,为半导体制造、医用气体和空气分离装置等各种过程中的工业水分分析仪提供动力。

在半导体工厂中测量水分的重要性

UHP 电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。即使是微小的杂质也会导致晶圆出现重大缺陷,从而导致代价高昂的报废和浪费。水分分析仪需要能够提供具有灵敏和优异性能的高稳定性测量。准确的超痕量级检测下限是必须的,因为需要轻松存储和调用数据/校准记录。

我们的解决方案

仕富梅提供一系列用于水分分析的传感技术,范围从 ppm 级分析到可用的最低超痕量测量。

氧化铝传感技术通过测量铝芯和沉积在氧化层上的金膜之间的电容来工作。电容根据氧化层孔隙中的水蒸气含量而变化。
气体过滤相关传感是一种先进的基于红外线的测量技术,基于某些气体独特的光吸收特性。它在需要极其精确的低水平测量或背景气体可能干扰测量的地方有效地执行。
红外传感是一种基于某些气体独特的光吸收特性的灵活测量技术,可对混合物中选定气体的浓度进行非接触式实时检测。
TDLAS 湿度传感是我们可调谐二极管激光传感器的特殊配置版本,它对湿度具有高度特异性,并提供快速、高度稳定、连续的测量。

我们的水分分析解决方案

仕富梅在痕量和超痕量水分测量领域处于优势地位,我们业界先进的 SERVOPRO DF-700 系列可提供超低检测限,可满足 300mm 半导体工厂严格的要求。 AquaXact 1688 水分传感器为广泛的工业气体应用提供露点和 ppm 水分分析,连接到 SERVOPRO MultiExact DF310EMultiExact 4100 或其自己的专用控制器。对于危险区域工业水分分析,SERVOTOUGH SpectraExact 2500 使用光度分析来测量具有挑战性的过程环境中的水分。

Search Servomex 水蒸气(水分) analyzers

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AquaXact 1688

SERVOPRO Safe Area

坚固耐用的超薄氧化铝氧化铝湿度传感器,可在各种气相工艺应用中测量水分。

SERVOPRO AquaXact 1688
  • 快速准确的湿度测量
  • 坚固耐用的超薄膜氧化铝传感器
  • 用作独立的 4-20mA 发射器
  • 与兼容的控制器或分析仪远程连接
  • 传感器元件可通过 NIST 追溯且可现场更换
  • IP65 等级连接器

AquaXact Controller

SERVOPRO Safe Area

专为与AquaXact 1688超薄膜氧化铝氧化铝湿度变送器协调工作而制造。

  • 专为操作 AquaXact 1688 而设计
  • 高清晰度彩色触摸显示屏
  • 警报、继电器和高级通信
  • 允许在现场轻松更换传感器尖端
  • 强大、直观的软件控制
  • 结构紧凑且易于集成到您的系统中

DF-745

SERVOPRO Safe Area

DF-745提供了水分的痕量和超痕量测量,可用于LED / LCD制造过程中的超高纯度(UHP)电子气体检查。

  • 提供痕量/超痕量水分测量
  • 用于 LED/LCD 制造中的电子气体检查
  • 可监测多种背景气体
  • 检测限低至十亿分之一
  • 专为卓越的操作灵活性而设计
  • 超可靠的基线测量

DF-745 SGMax

SERVOPRO Safe Area

DF-745 SGMax设计用于测量特殊气体混合应用中的多种气体混合物。

  • 针对特种气体混合进行了优化
  • 微量水分的准确 TDL 分析
  • 适用于各种应用的适应性解决方案
  • 检测限低至十亿分之五
  • 17种标准背景气体数据库
  • 几乎消除了干燥时间

DF-749

SERVOPRO Safe Area

DF-749 提供各种背景气体中的痕量和超痕量水分污染物测量,是 LCD 和 LED 制造中使用的 UHP 气体质量检查的理想选择。

  • 痕量/超痕量水分测量
  • 检查 UHP 电子气体的纯度
  • 方便携带,适合推车或移动使用
  • 检测限低至万亿分之 250
  • 经过工厂校准,安装快速简便
  • 最大限度地减少持续维护需求

DF-750

SERVOPRO Safe Area

DF-750是一种痕量/超痕量水分分析仪,针对用于300mm半导体工厂的超高纯度(UHP)气体的测量进行了优化。

  • 痕量/超痕量水分测定仪
  • 用于电子级气体的纯度检查
  • 稳定、高精度的 TDL 测量
  • 检测下限低 100ppt
  • 终身维护要求低

DF-750 ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。

  • 提供业界最佳的湿度测量
  • 行业领先的 55 ppt 检测下限
  • 零漂移稳定性延长了校准间隔
  • N2、H2、He、Ar 和 O2 中的测量
  • 旨在满足卓越的气体纯度标准

DF-760E

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E分析仪专为超高压散装气体的质量控制应用而设计,是用于微量和微量微量水分双重测量的独特解决方案

  • 用于 UHP 大宗气体的质量控制
  • 双水分和氧气分析
  • 痕量和超痕量测量
  • 非消耗库仑式 O2 传感器
  • 稳健的 TDL 湿度传感
  • 卓越的低检测限

DF-760E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。

  • 用于 UHP 气体的双水分/氧气分析仪
  • 质量检查和泄漏检测的理想选择
  • 55ppt 水分检测下限
  • 氧气检测下限为 45ppt
  • 结合库仑法和 TDL 传感
  • 检测范围广

MonoExact DF310E

SERVOPRO Safe Area

专为精确测量工业气体(IG)应用中的氧气而设计。

  • 准确测量氧气和湿度
  • 专为工业气体应用而设计
  • 经过试验和测试的数字库仑氧传感器
  • 非耗尽顺磁传感器选项
  • 即插即用湿度传感器支持
  • 模拟和数字通信选项

MultiExact 4100

SERVOPRO Safe Area

一种高性能的多气体分析仪,旨在提供多达四个同时的气流测量。

SERVOPRO MultiExact 4100
  • 高度适应性的多气体分析仪
  • 提供多达四个同时测量
  • 广泛的传感技术选择
  • 工业和医用气体的多功能解决方案
  • 内置湿度传感器支持
  • 可选的高级数字协议

PureGas

SERVOPRO Safe Area

基于吸气剂的净化装置,用于净化气相色谱(GC)和其他分析应用中使用的载气

SERVOPRO PureGas
  • 基于吸气剂的净化装置
  • 专为气相色谱中使用的载气而设计
  • 将出口杂质水平降低至 ppb 或更低
  • 通过形成不可逆的化学键去除杂质
  • 高效陶瓷纤维保温材料
  • 专为连续运行而设计,无需维修

SpectraExact 2500

SERVOTOUGH Hazardous Area

灵活的单组分和多组分气体分析能力,适用于腐蚀性、有毒和易燃样品流。

  • 坚固、可靠的光度分析
  • 专为持续易燃样品而设计
  • 适用于危险区域应用
  • 适用于各种气体样品类型
  • 使用经过现场验证的非消耗技术
  • 经过气体认证

仕富梅技术推动水分分析

我们的水分分析仪系列使用经过验证的传感解决方案,可提供准确性、易用性和较长的使用寿命。

 

水分和露点测量的关键解决方案

氧化铝是一种传感技术,可提供露点和百万分之一的水分测量值,结果无漂移且对温度变化不敏感。它用于一系列工业和 UHP 气体应用,是我们 AquaXact 1688 湿度变送器的核心。

了解有关氧化铝技术的更多信息

气体过滤相关传感器提供稳定、超精确的气体分析

气体过滤相关 (GFC) 技术是红外传感的一种高级形式,非常适合具有干扰背景气体的应用,可提供精确、灵敏的测量。它用于我们的 SERVOTOUGH SpectraExact 2500 光度分析仪,并且是我们的 SERVOPRO 多气体分析仪、MultiExact 4100、MultiExact 4200 和 4900 Multigas 的关键技术。

了解有关 GFC 技术的更多信息
Infrared

混合物中气体的实时红外测量

红外传感是一种基于某些气体独特的光吸收特性的灵活测量技术。它可对混合物中所选气体的浓度进行非接触式实时检测,广泛应用于我们的分析仪系列,包括便携式分析仪、光度产品和多气体分析仪。

了解有关红外技术的更多信息
Tunable Diode Laser

TDLAS 水分分析提供简单、灵敏的测量

作为我们 SERVOPRO DF-700 系列痕量和超痕量水分分析仪的一项基本技术,我们基于激光的水分传感依赖于专门配置的可调谐二极管激光分析光谱 (TDLAS),以非常低的行业领先水平提供可靠、稳定的结果水平。

了解有关 TDLAS 技术的更多信息

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了解我们如何利用这些资源支持您的水分处理过程。

AquaXact 1688水分分析仪白皮书

AquaXact 1688水分分析仪白皮书

DF-745 SGMax白皮书

DF-745 SGMax白皮书

甲苯二异氰酸酯 (TDI)

甲苯二异氰酸酯 (TDI)

半导体晶圆生产

半导体晶圆生产

适用于各种应用的水分测量解决方案

了解我们如何提供这些关键过程所需的水分分析

空分装置

适应您过程的多样化传感解决方案

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医用气体

纯度测定和杂质检测的高级解决方案

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超高压气体/半导体

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仕富梅 – 气体分析助力不断变化的世界

仕富梅是全球气体分析领域专家,为更清洁、更高效的行业提供解决方案,并支持制造惠及所有人的产品。凭借 70 年的专业知识和研究,我们为过程控制、质量、安全、排放监测和燃烧效率提供改变行业的气体分析测量。

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本地提供的全球服务支持

无论您身在何处,我们的服务工程师网络都能提供您所需的专业知识,让您的氨分析仪以优异性能运行。凭借遍布全球的先进的服务中心,您将始终获得流程所需的支持。

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我们提供量身定制的服务包,在产品的整个生命周期内为您的产品提供支持

我们的全球服务网络为您提供所需的支持,让您的分析仪或系统以优异性能运行,让您高枕无忧。

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纯气与特种气体

我们的纯气与特种气体 (P&S) 团队为工业和医疗气体、超高压气体和半导体制造等市场领域提供产品、知识和服务

工业过程和排放

我们的工业过程和排放 (IP&E) 部门负责我们在发电、碳氢化合物加工和排放监测市场中的气体分析解决方案

选择湿气分析专家

仕富梅的不同之处从一开始就很明显,一直到交付将改变您的工艺的湿气分析系统。

我们与您协商以确定您需要什么

我们的团队在整个项目过程中持续跟进,确保始终如一的沟通。这首先要确定系统必须满足的参数,以确保优异性能和易用性。

我们在我们的专用设施中设计和构建您的系统

我们的原理图和文件由客户审查,直到最终设计达成一致。然后,我们技术娴熟的工程师在我们最先进的区域中心之一组装系统,并在整个构建过程中进行持续评估。

我们测试并交付您的集成解决方案

经过内部测试和密集的工厂验收测试 (FAT),完成的系统将被运送安装。我们的专家支持团队可以调试和校准系统,并提供任何必要的操作员培训。


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