空分装置

仕富梅可提供各种解决方案, 满足您的ASU气体分析需求

对于空分装置 (ASU) 应用而言,气体分析精度对于改善过程控制、安全性和产品质量至关重要。我们广泛的分析解决方案能在整个过程中提供连续、可靠的分析结果。

查看我们的ASU资源,了解更多信息

欢迎下载资源,了解有关ASU运营和相关过程应用的产品和应用解决方案的更多信息。

仕富梅系统说明书

仕富梅系统说明书

工业气体杂志第01期

工业气体杂志第01期

工业气体杂志第02期

工业气体杂志第02期

ES Chroma NanoChrome杂志第19期

ES Chroma NanoChrome杂志第19期

需要准确气体分析的过程

空分装置 (ASU) 用于将空气分离为氮气、氧气和氩气三种纯净气体。还需进一步分离一定量的稀有气体,如氖气、氪气和氩气。整个过程中,准确的气体组分分析对于确保气体纯度至关重要。

监测各种微量杂质

在从分离过程到通过管道或车辆运输产品全程保持产品的纯度至关重要,期间需要对一系列杂质进行高精度的微量级测量,以确保高标准的产品质量。

Servopro Chroma

提供多种传感解决方案,满足过程需求

仕富梅可提供采用不同传感技术的分析仪产品,能满足工业气体行业对专业技术和测量范围要求。我们可提供顺磁、氧化锆、可调谐激光二极管、火焰离子化检测仪和库仑电量法传感技术,能满足控制过程所需的不同技术要求,确保产品纯度和工厂安全。

我们是公认的ASU应用领域的专家

全球很多领先的ASU厂商都选择使用仕富梅分析仪。我们是公认的工业气体分析领域的专家,可提供准确、可靠和稳定的解决方案。

专家团队

凭借深厚的应用知识,我们的专家能根据您的过程要求定制气体分析解决方案,满足工厂的个性化要求。

优质产品

我们拥有工业气体市场上很广泛的气体传感技术,能为ASU过程的每个分析点提供合适的气体分析技术。

全球支持

我们广泛的气体分析仪产品均由全球服务网络提供支持,能确保始终如一的优异性能。

会见专家

Matt 领导我们的专业纯度和专业团队提供产品、知识
以及为工业、医疗、UHP 和半导体气体市场提供服务。

Matt Chambers, 纯度与专业业务部经理

Claus 负责管理我们的 Chroma 业务部门,是一位经验丰富的工程师,自 2004 年以来一直在仕富梅工作,领导了许多新产品的研发。 他也是仕富梅 STEM 计划的成员

Claus Agersbaek, Chroma 业务部经理

Joseph 总部位于美国技术中心,与半导体和工业气体市场的客户密切合作,提供专业知识和产品解决方案来满足他们的要求。

Joseph Ha, 纯度与专业产品经理

克里斯与我们的客户,销售团队和工程师紧密合作,通过应用程序和产品开发来推动增长。

Chris Davis, 产品经理

Phil身为Servomex的长期专家,拥有超过33年的服务经验,他对半导体市场的要求拥有丰富的知识,并为客户,同事和渠道合作伙伴提供技术和应用支持。

Phil Rogers, 半导体部门高级产品专员

Chee Wee总部位于新加坡,负责监督我们在该地区的直销和渠道销售团队,并管理Servomex在亚洲的所有站点和运营。

Chee Wee Yap, 亚洲销售总监,亚洲站点负责人

伺服分析仪查找器

按搜索字词优化

通过以下方式优化选择:

4900 Multigas

SERVOPRO Safe Area

4900 Multigas是一款高性能CEMS分析仪,设计用于多种多气体测量。

  • 先进的数字多气体 CEMS 分析
  • 最多同时进行四个气流测量
  • 超稳定、准确、无损耗的传感器
  • 自动校准可减少操作需求
  • 直观的图标驱动彩色触摸屏
  • 用于远程访问的数字通信

AquaXact 1688

SERVOPRO Safe Area

坚固耐用的超薄氧化铝氧化铝湿度传感器,可在各种气相工艺应用中测量水分。

SERVOPRO AquaXact 1688
  • 快速准确的湿度测量
  • 坚固耐用的超薄膜氧化铝传感器
  • 用作独立的 4-20mA 发射器
  • 与兼容的控制器或分析仪远程连接
  • 传感器元件可通过 NIST 追溯且可现场更换
  • IP65 等级连接器

AquaXact Controller

SERVOPRO Safe Area

专为与AquaXact 1688超薄膜氧化铝氧化铝湿度变送器协调工作而制造。

  • 专为操作 AquaXact 1688 而设计
  • 高清晰度彩色触摸显示屏
  • 警报、继电器和高级通信
  • 允许在现场轻松更换传感器尖端
  • 强大、直观的软件控制
  • 结构紧凑且易于集成到您的系统中

Chroma

SERVOPRO Safe Area

色度已针对特定背景气体进行了优化,以确保为您的应用提供最佳性能。

  • 多功能、超精确痕量气体分析
  • 非消耗传感器技术的选择
  • 用于过程控制或质量监控的经济高效的解决方案
  • 适用于多种背景气体
  • 紧凑型 4U 机架兼容设计
  • 灵活的通讯选项

DF-550E

SERVOPRO Safe Area

DF-550E是一种超痕量库仑氧气分析仪,针对超高纯电子气体的质量测量进行了优化

DF-550E an ultra-trace Coulometric oxygen analyzer.
  • 超痕量库仑式氧气分析仪
  • 用于电子气体的质量测量
  • 检测下限为万亿分之 200
  • 适用于多种背景气体
  • 不受样品和流速变化的影响
  • 便携式手提选项

DF-560E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-560E ULTRA为半导体行业提供业界出色的氧气(O2)测量,用于超高纯(UHP)电子级气体的质量控制。

SERVOPRO DF-560E ULTRA
  • 提供业界最佳的氧气测量
  • 用于超高纯气体的质量控制
  • 检测下限为万亿分之 45
  • 高稳定性库仑传感技术
  • 针对易用性和便携性进行了优化
  • 经济高效的设置和配置

DF-745

SERVOPRO Safe Area

DF-745提供了水分的痕量和超痕量测量,可用于LED / LCD制造过程中的超高纯度(UHP)电子气体检查。

  • 提供痕量/超痕量水分测量
  • 用于 LED/LCD 制造中的电子气体检查
  • 可监测多种背景气体
  • 检测限低至十亿分之一
  • 专为卓越的操作灵活性而设计
  • 超可靠的基线测量

DF-745 SGMax

SERVOPRO Safe Area

DF-745 SGMax设计用于测量特殊气体混合应用中的多种气体混合物。

  • 针对特种气体混合进行了优化
  • 微量水分的准确 TDL 分析
  • 适用于各种应用的适应性解决方案
  • 检测限低至十亿分之五
  • 17种标准背景气体数据库
  • 几乎消除了干燥时间

DF-749

SERVOPRO Safe Area

DF-749 提供各种背景气体中的痕量和超痕量水分污染物测量,是 LCD 和 LED 制造中使用的 UHP 气体质量检查的理想选择。

  • 痕量/超痕量水分测量
  • 检查 UHP 电子气体的纯度
  • 方便携带,适合推车或移动使用
  • 检测限低至万亿分之 250
  • 经过工厂校准,安装快速简便
  • 最大限度地减少持续维护需求

DF-750

SERVOPRO Safe Area

DF-750是一种痕量/超痕量水分分析仪,针对用于300mm半导体工厂的超高纯度(UHP)气体的测量进行了优化。

  • 痕量/超痕量水分测定仪
  • 用于电子级气体的纯度检查
  • 稳定、高精度的 TDL 测量
  • 检测下限低 100ppt
  • 终身维护要求低

DF-750 ULTRA

SERVOPRO Safe Area

DF-750 ULTRA提供行业先进的痕量/超痕量水分测量,针对300mm半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体的质量监控进行了优化。

  • 提供业界最佳的湿度测量
  • 行业领先的 55 ppt 检测下限
  • 零漂移稳定性延长了校准间隔
  • N2、H2、He、Ar 和 O2 中的测量
  • 旨在满足卓越的气体纯度标准

DF-760E

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E分析仪专为超高压散装气体的质量控制应用而设计,是用于微量和微量微量水分双重测量的独特解决方案

  • 用于 UHP 大宗气体的质量控制
  • 双水分和氧气分析
  • 痕量和超痕量测量
  • 非消耗库仑式 O2 传感器
  • 稳健的 TDL 湿度传感
  • 卓越的低检测限

DF-760E ULTRA

SERVOPRO Safe Area

紧凑型DF-760E ULTRA专为UHP大宗气体中行业领先的质量控制测量而设计,是针对痕量和超痕量水分和氧气的独特双重分析解决方案。

  • 用于 UHP 气体的双水分/氧气分析仪
  • 质量检查和泄漏检测的理想选择
  • 55ppt 水分检测下限
  • 氧气检测下限为 45ppt
  • 结合库仑法和 TDL 传感
  • 检测范围广

FID

SERVOPRO Safe Area

FID具有痕量分析功能,是ASU安全和质量控制应用的理想选择。

  • ASU 安全和质量控制的理想选择
  • 强大的火焰离子化检测器分析
  • 提供痕量总碳氢化合物测量
  • 适用于各种应用的适应性解决方案
  • 低噪声 FID 传感实现卓越的精度
  • 远程通信选项范围

FluegasExact 2700

SERVOTOUGH Hazardous Area

设计用于测量烟气中的O2和COe,以提高燃烧效率并减少排放。

The FluegasExact 2700 analyzer for effective combustion analysis
  • 提高燃烧效率并减少排放
  • 仅 O2,或在一个传感器头中测量 O2 和 COe
  • 适用于所有类型的燃烧过程
  • 坚固、工业、全加热传感器头
  • 长寿命、低漂移氧传感技术
  • 紧密耦合、低流量萃取采样设计,延长产品寿命

HFID

SERVOPRO Safe Area

使用设置为190°C(374°F)的内部加热炉将样品气体保持在其露点以上,以实现总烃分析(THC)的优异性能。

  • 高灵敏度痕量碳氢化合物分析
  • 车辆/发动机认证测试的理想选择
  • 加热 FID 测定挥发性烃浓度
  • 提供实时、在线气体分析
  • 切割系统去除非甲烷碳氢化合物
  • 四个用户可定义的测量范围选项

Laser 3 Plus Combustion

SERVOTOUGH Hazardous Area

无与伦比的安装灵活性以及成本和性能优势,可用于燃烧和过程控制中的快速,准确和响应式测量。

Laser 3 Plus Tunable Diode Laser
  • 配置为测量 O2、CO 或 CO 和 CH4
  • 高度紧凑的气体监测仪
  • 非常适合现场跨堆栈应用
  • 使用波长调制光谱 (WMS)
  • 由一名工程师即可轻松安装
  • 可靠的线锁马桶技术

Laser 3 Plus Environmental

SERVOTOUGH Hazardous Area

紧凑,高性能的可调谐二极管激光器(TDL)分析仪,专为氨逃逸测量优化

SERVOTOUGH Laser 3 Plus Environmental
  • 脱硝过程中准确的 NH3 测量
  • 符合美国EPA PS18标准
  • 清洁空气工艺的卓越优势
  • 原位跨叠测量
  • 高度紧凑的气体分析仪
  • 可靠的线锁马桶技术

Laser 3 Plus Process

SERVOTOUGH Hazardous Area

经过优化,可在炎热或危险条件下快速,准确和反应灵敏地测量过程中的氧气(O2)。

Laser 3 Plus Process Tunable Diode Laser (TDL) analyzer
  • 快速、准确的过程控制
  • 稳定、可重复的 O2 测量
  • 紧凑设计,卓越性能
  • 最低的安装和维护成本
  • 非耗尽 TDL 传感器技术
  • 可靠的线锁马桶技术

Micro i.s. 5100

SERVOFLEX Portables

设计用于测量潜在易燃气体中的氧气(O2)。 通过了0区和1区认证,适合测量O2的百分比水平。

  • 便携式 O2 百分比含量分析仪 (<21% O2)
  • 本质安全 – 通过 Zone 0 和 Zone 1 认证
  • 易燃和有毒样品中的 O2 分析
  • 能够存储多达 200 个测量值
  • 高品质、长寿命可充电锂离子电池
  • 泵送或压力驱动样气选项

MiniHD 5200

SERVOFLEX Portables

MiniHD 5200便携式气体分析仪是一款坚固耐用的重型分析仪,旨在准确测量常见气体混合物中的O2,CO和CO2含量。

SERVOFLEX MiniHD 5200
  • 适用于现场或轻工业应用
  • 测量常见气体混合物中的 O2、CO 和 CO2
  • 便携式分析仪采用坚固耐用的设计
  • 使用数字顺磁和红外传感
  • 测量准确,无背景干扰
  • 直观、用户友好的交互和界面

MiniMP 5200

SERVOFLEX Portables

经MCERTS和TUV认证的真正由电池供电的便携式气体分析仪,可对氧气(O2)和二氧化碳(CO2)进行一次或两次测量。

  • 高性能氧气和二氧化碳分析
  • 真正的便携式电池供电气体分析
  • 非常适合 CEMS,具有 MCERTS 和 TUV 认证
  • 精确、长寿命运行,只需最少的校准
  • 结合了顺磁和红外技术
  • 医用气体验证应用的理想选择

MonoExact DF150E

SERVOPRO Safe Area

MonoExact DF150E将Servomex久经考验的库仑式氧气传感器的可靠性与更人性化的包装相结合。

  • 数字触摸屏和图标驱动界面
  • 经过试验和测试的数字库仑氧传感器
  • 针对工业气体应用进行了优化
  • 测量三个范围内的氧气
  • 占地面积紧凑,集成简单
  • 无需传感器调零

MonoExact DF310E

SERVOPRO Safe Area

专为精确测量工业气体(IG)应用中的氧气而设计。

  • 准确测量氧气和湿度
  • 专为工业气体应用而设计
  • 经过试验和测试的数字库仑氧传感器
  • 非耗尽顺磁传感器选项
  • 即插即用湿度传感器支持
  • 模拟和数字通信选项

MultiExact 4100

SERVOPRO Safe Area

一种高性能的多气体分析仪,旨在提供多达四个同时的气流测量。

SERVOPRO MultiExact 4100
  • 高度适应性的多气体分析仪
  • 提供多达四个同时测量
  • 广泛的传感技术选择
  • 工业和医用气体的多功能解决方案
  • 内置湿度传感器支持
  • 可选的高级数字协议

MultiExact 4200

SERVOPRO Safe Area

MultiExact 4200可同时分析多达四种气体合成气和HyCO

  • 适用于 HyCO、合成气、H2 和气体传输应用
  • 高规格多气体分析仪
  • 同时测量多达四种气流
  • 结合了行业领先的传感技术
  • 低拥有成本和最少的维护
  • 直观的图标驱动彩色触摸屏

NanoChrome

SERVOPRO Safe Area

结合气体传感和信号处理方法的最新进展,NanoChrome彻底改变了超痕量纯度的测量方法。

  • UHP 气体中的超痕量纯度测量
  • 专为半导体制造而设计
  • 使用先进的等离子发射检测器传感器
  • 灵敏的 ProPeak 软件可实现高精度
  • 无需使用易燃气体
  • 综合报告和统计分析

NanoChrome ULTRA

SERVOPRO Safe Area

通过使用成熟的超痕量传感技术,NanoChrome ULTRA征服了半导体行业最严格的要求,与竞争技术相比,提供了一种经济高效的解决方案。

  • 超痕量纯度测量的首选
  • 专为半导体晶圆行业设计
  • 超高纯气体的卓越测量
  • 高度特异性、非消耗 PED 传感
  • 用于高灵敏度测量的 ProPeak 过滤
  • 无需使用易燃气体

NOx

SERVOPRO Safe Area

测量工业气体和车辆排放应用中的NO或NO / NO2 / NOx浓度。

  • 测量 NO 或 NO/NO2/NOx 浓度
  • 使用经过时间验证的化学发光传感
  • 监测工业固定源排放
  • 足够快的速度进行发动机排放测试
  • 无需真空泵
  • 四个用户可定义的测量范围

OxyExact 2200

SERVOTOUGH Hazardous Area

高规格的OxyExact 2200 O2分析仪提供了非凡的精度,灵活性和性能组合,可实现优异的过程和安全控制。

OxyExact 2200 high-specification O2 analyzer
  • 额定可达 Zone 1/Division 1 危险区域
  • 高规格顺磁 O2 分析
  • 专为要求苛刻的过程和安全监控而设计
  • 创新的三室发射器设计
  • 将最多六个发射器单元连接到一个控制单元
  • 对高达 100% O2 的可燃气体混合物进行采样

Plasma

SERVOPRO Safe Area

等离子可提供准确,高度稳定和可靠的测量,并且灵敏度在0-1ppm范围内。

SERVOPRO Plasma
  • 氩气中的氮分析
  • 专为 ASU 工厂设计
  • 无与伦比的稳定性和选择性
  • 高规格等离子体发射检测器
  • 标准或高纯度设置模式
  • 可靠、准确的连续监测

PureGas

SERVOPRO Safe Area

基于吸气剂的净化装置,用于净化气相色谱(GC)和其他分析应用中使用的载气

SERVOPRO PureGas
  • 基于吸气剂的净化装置
  • 专为气相色谱中使用的载气而设计
  • 将出口杂质水平降低至 ppb 或更低
  • 通过形成不可逆的化学键去除杂质
  • 高效陶瓷纤维保温材料
  • 专为连续运行而设计,无需维修

SERVOTOUGH Oxy 1900

SERVOTOUGH Hazardous Area

The Oxy 1900 oxygen (O2) gas analyzer sets new standards of flexibility, stability and reliability from a single, cost-effective unit.

  • 1 区/1 区危险区域额定值
  • 数字顺磁 O2 测量
  • 加热样气室以确保稳定性
  • 独特的专利 FlowCube 流量传感器可增强安全性
  • 自动验证/校准选项减少了手动维护
  • 智能样品排气压力补偿选项

SpectraExact 2500

SERVOTOUGH Hazardous Area

灵活的单组分和多组分气体分析能力,适用于腐蚀性、有毒和易燃样品流。

  • 坚固、可靠的光度分析
  • 专为持续易燃样品而设计
  • 适用于危险区域应用
  • 适用于各种气体样品类型
  • 使用经过现场验证的非消耗技术
  • 经过气体认证

我们的专家团队和世界级设施随时准备为您提供支持

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仕富梅推出其首款专业湿度传感器AquaXact 1688

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