SERVOPRO Servomex Plasma

等离子体发射用于精确的气体分析

Servomex 的等离子体发射检测技术旨在为碳氢化合物分析提供一种比火焰传感更安全的替代方案。该技术可实现超低浓度测量,并应用于我们的 SERVOPRO PlasmaChromaNanoChrome NanoChrome ULTRA 分析仪中。

当提供足够的能量使气流电离时,就会发生放电过程。由此产生的等离子体由自由电子、离子、中性分子和高能光子组成,它们处于持续的电离和复合状态。

当受到外部交变高压电场的激励时,介质阻挡放电 (DBD) 辉光等离子体中的气体会产生强烈的发射光谱,这些光谱与其独特的分子键直接相关。

光发射光谱 (OES) 方法结合了精密光学滤波器和探测器,可实现高选择性的气体测量。

我们的 DBD 等离子体传感器由一个定制的石英池组成,该石英池带有透明窗口,窗口上装有由可控射频 (RF) 电磁场供电的电极。围绕石英池的多个 OES 探测器组件可同时选择性地测量多种气体的发射光谱。

这种高灵敏度和高选择性的气体成分分析能够测量痕量(十亿分之一,ppb)气体。

相关和替代技术

等离子体传感技术可与气相色谱技术联用,实现低至ppb级的超高灵敏度测量。然而,这种灵敏度意味着它仅适用于痕量分析应用。

关键应用

半导体

医用气体

空气分离装置

主要优点

比同类技术更安全、更稳定

可靠的气体选择性

无需传感器维护

非常适合

对半导体制造厂纯气体(P-Gas)中的碳氢化合物杂质进行安全、稳定的痕量分析。

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