SERVOPRO DF-500 系列

通过最新的超痕量氧分析技术,确保更高效的工艺流程

采用我们 SERVOPRO DF-500 系列库仑法分析仪的第七代产品,为您的超高纯度(UHP)气体赋能,实现超痕量氧测量。

该新一代解决方案采用全新的全数字化设计和固态存储,可靠性进一步提升,并具备行业领先的更低检测限和高精度测量结果,助力全球 UHP 气体生产商提升运营表现。

Gen-7 analyzers are built around Servomex’s trusted digital sensing technologies for proven reliability, ease of operation, and minimal maintenance.

Coulometric

采用库仑法传感技术,可将 O₂ 测量低至 45 ppt

我们高度灵敏、非消耗型的库仑法传感器可实现行业领先的氧气测量性能,并且无需定期更换。

Raise the bar for your oxygen impurity detection

The Gen-7 upgrade of our Coulometric oxygen analyzer series makes it easier than ever before to boost productivity and efficiency in your semiconductor and electronic-grade gas processes.

易于使用和维护

重新设计的 DF-500 系列第七代分析仪以用户为中心,操作简便、易于上手。其简化的数字化设计使维护更加轻松,并提升了现场可维护性。结合非消耗型传感器技术和延长的校准周期,第七代分析仪在整个生命周期内具备更低的总体拥有成本,同时将持续维护需求降至最低。

毫不妥协的性能

Gen7 升级为 DF-500 系列带来新一代的可靠性,确保其能够满足全球半导体和电子特气行业最严苛的标准。凭借行业领先的更低检测限以及可靠、准确的氧气测量性能,这些分析仪在提供易用性能的同时,保持相对较低的总体拥有成本,为终端用户在其超高纯度(UHP)气体应用中提供先进且高性价比的解决方案。

computer

全数字化的可靠性

DF-500 系列第七代分析仪采用全数字化设计,并配备长寿命固态存储,从而进一步提升可靠性。面向未来多年应用需求,该系列持续提供全球超高纯度(UHP)气体生产商所信赖的行业领先超痕量氧测量性能。

探索 Gen-7 DF-500 系列产品范围

为超高纯度(UHP)气体应用优化的高稳定性 O₂ 测量

Giovanni De Dona
产品经理

DF-550E 在多种背景气体中均能提供卓越性能,具备结构紧凑、可靠性高和测量精度高等特点,可对超高纯度电子气体中的氧(O₂)杂质进行超痕量氧测量。

该分析仪采用非消耗型库仑法传感器技术,能够实现出色的低痕量和超痕量 ppt 级 O₂ 测量,最低检测限可达 200 ppt,灵敏度极高。

凭借极小的传感器漂移,DF-550E 特别适用于易发生工况波动的应用环境。

在最低水平下实现超痕量氧测量

Giovanni De Dona
产品经理

DF-560E ULTRA 专为将超痕量氧测量至极低水平而设计,为半导体行业提供行业领先的 45 ppt(万亿分之一)最低检测限。

在对样品气体进行监测时,仪器可自动切换单位,直至 ppt 级别。

非消耗型、出厂校准的库仑法技术支持高性价比的安装与配置,有助于降低整体运营成本。


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