SERVOPRO AquaXact 1688

氧化铝——湿度和露点测量的关键解决方案

氧化铝传感技术可提供露点和百万分之一浓度的水分测量结果,其测量结果无漂移且不受温度变化影响。该技术广泛应用于各种工业和超高纯气体领域,是我们AquaXact 1688水分变送器的核心部件。

氧化铝(Al₂O₃)传感器的工作原理是测量铝芯与沉积在氧化层上的金膜之间的电容。电容值随氧化层孔隙中水蒸气含量的变化而变化。

超薄 Al₂O₃ 传感器具有三项创新的结构改进,与传统的 Al₂O₃ 传感器相比,性能更优,在灵敏度和稳定性方面具有优势。

1. 更薄的氧化层:由于电容与电容器极板间的距离成反比,因此更薄的氧化层可以带来更高的电容。更高的电容意味着更灵敏的测量。更薄的氧化层也使得水分子能够更快地进出孔隙,从而确保更快的响应速度。

2. 更清晰的阻挡层:清晰的阻挡层意味着传感器的干湿电容比非常高,从而降低了由不良因素引起的漂移的影响。它还能减少金属迁移,而金属迁移是传统氧化铝传感器漂移的主要原因之一。

3. 独特的孔隙几何结构:有序的孔隙几何结构比传统传感器能容纳更多水分,从而在露点变化相同的情况下,增大电容变化。这意味着更高的精度和更快的响应速度。此外,该传感器稳定性更高,因此在洁净、无腐蚀性气体中使用时,只需每年进行一次校准检查。

相关和替代技术

在某些分析仪中,氧化铝传感器与顺磁传感器和库仑传感器配合使用,可同时测量氧气和水分。然而,氧化铝传感无法达到所有超高纯气体所需的超痕量检测水平。激光水分测量技术通常更适合此类应用。

关键应用

空气分离装置

医用气体

半导体

主要优点

响应迅速

精度极高

无漂移

非常适合:

露点和百万分之几水分测量在各种工业气体应用中的应用。

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