SERVOPRO NanoChrome ULTRA

SERVOPRO NanoChrome ULTRA

NanoChrome ULTRA 可对超高纯气体进行卓越的痕量测量

作为半导体行业超痕量纯度测量的首选,革命性的 NanoChrome ULTRA 融合了气体传感和信号处理技术的最新进展,性能卓越。

  • 超高纯气体监测应用的理想解决方案
  • 毫不妥协的解决方案
  • 维护简便,运行成本低

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可靠的超高纯臭氧监测

Chris Davis
Chris Davis
高级全球产品经理

NanoChrome ULTRA是一款专为半导体制造行业设计的高性能分析仪,可对多种常见背景气体(包括Ar、H₂、氦气(He)、氮气(N₂)和氧气(O₂))中的氩气(Ar)、甲烷(CH₄)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)、氢气(H₂)、氮气(N₂)和非甲烷碳氢化合物(NMHC)进行高可靠性监测。

NanoChrome ULTRA配备了更大的显示屏和最新的软件,采用Servomex公司自主研发的先进等离子体发射检测器(PED)传感器和灵敏的ProPeak软件。

The revolutionary NanoChrome ULTRA for ultra-trace purity measurements

高性能,成本更低

NanoChrome ULTRA 的传感技术在性能、稳定性、安全性和降低后续成本方面,相比传统的火焰离子化检测器 (FID) 和还原气体检测器 (RGD) 传感技术具有显著优势。

Servomex 先进的信号恢复技术采用专利的 ProPeak 滤波方法,可提供高度灵敏且选择性高的可靠测量结果。由于无需甲烷化器或易燃气体,NanoChrome ULTRA 也带来了显著的成本优势。

Asian Male Technician In Sterile Coverall Holds Wafer That Reflects

超高纯气体监测应用的终极解决方案

在监测半导体晶圆制造中使用的超高纯气体时,极高的灵敏度和性能至关重要。合适的分析解决方案必须能够灵活地监测所有必需气体以及常见的背景气体,并且在超痕量水平上实现完全的选择性和准确性。无论您的应用需求如何,您都需要一种能够降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您无需做出任何妥协。

Silicon Wafer with microchips used in electronics for the fabric

一个不妥协的解决方案

NanoChrome ULTRA 是一款颠覆性的分析仪,可提供目前最高水平的性能精度和选择性。它采用领先的专利 PED 传感技术,

Service team checklist

维护简便,运行成本低

NanoChrome ULTRA 结合了 Servomex 专门研发的非消耗性 PED 技术以及先进的新型处理和操作软件,能够延长校准周期,从而在产品生命周期内显著降低持续成本。

Servomex System components

NanoChrome ULTRA 是我们用于超高纯度分析的整体系统解决方案的一部分。

如果您正在寻找能够实现无缝集成、由单一供应商提供的超高纯气体分析系统,我们可以为您提供帮助。请联系我们的专家系统团队了解更多信息。

超高纯气体监测的最高可靠性

革命性的NanoChrome ULTRA技术,无论是作为独立器件还是作为Servomex超高纯气体整体解决方案的一部分,都能为半导体行业带来显著优势。

Complient

基准合规性

NanoChrome ULTRA 符合低电压、EMC 和适用指令。

Sensor

PED传感器技术

高灵敏度等离子体发射检测器无需使用 FID 或 RGD 检测器,从而避免了相关的安全问题和高昂的拥有成本,并提供了行业领先的检测限 (LDL)。

computer

集成计算机及先进软件

每台分析仪都配备独特的Pro-Peak软件和强大的基于Windows 10的操作系统,以提高安全性和稳定性。全自动系统和大尺寸显示屏简化了操作。

灵活的

  • 针对包括 He、H2、N2、Ar 和 O2 在内的多种常见背景气体,提供超痕量 H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar 和 NMHC 的全面分析解决方案。
  • 与 DF-500 和 DF-700 分析仪配合使用,可构成完整的独立式超高纯气体分析解决方案。
  • 支持远程访问的数字通信:互联网/以太网和 RS232。

便于使用

  • 功能全面的报告监控软件,可完整访问色谱图、过程结果、统计数据和历史值
  • 可选配内部稀释系统
  • 无需易燃气体,提高了安全性并简化了安装

拥有成本低

  • 非消耗型传感器和智能软件延长了校准周期
  • 无需甲烷化器或消耗性燃料气
  • 经济高效且简化的日常维护

无与伦比的性能

  • 创新型高灵敏度等离子体发射检测器 (PED) 可实现 Ar、N₂、H₂、CH₄、CO、CO₂ 和 NMHC 的超痕量测量。
  • ProPeak 峰值检测技术实现了前所未有的测量灵敏度,检测限 (LDL) 低至 100ppt。
  • 直接分析方法消除了 FID 和 RGD 测量的不确定性。

NanoChrome ULTRA 可测量常见背景气体中以下气体的超痕量水平,从而实现纯度监测的最高可靠性。

加油站 测量
氩气 (Ar)ppb, ppt
甲烷 (CH₄)ppb, ppt
一氧化碳 (CO)ppb, ppt
二氧化碳 (CO₂)ppb, ppt
氢 (H₂)ppb, ppt
氮 (N₂)ppb, ppt
非甲烷碳氢化合物 (NMHC)ppb, ppt
氧 (O₂)ppb, ppt

Technologies

The revolutionary NanoChrome ULTRA for ultra-trace purity measurements

认证证书

符合EMC指令,额定过电压类别为II类,污染等级为2级

示意图(点击展开)

尺寸

宽 482 毫米(18.9 英寸)x 高 117 毫米(4.6 英寸)x 深 600 毫米(23.6 英寸)

重量

11-27公斤(25-60磅),具体应用取决于应用情况。

获取详细规格

“如需详细了解规格,请下载我们的技术数据表,其中包含有关技术、性能、运行环境、样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和主要优势及应用。”

Chris Davis
Chris Davis
产品经理

下载这份超棒的资源包,获取你需要知道的一切

“我们的 NanoChrome ULTRA 资源包包含了您了解该分析仪如何提升您的工艺性能所需的所有信息,包括产品手册和操作手册。”

Chris Davis
Chris Davis
产品经理

亲自看看

我们的视频让您有机会观看产品实际运行演示,并聆听专家讲解。您还可以看到分析仪的开箱过程,并了解更多关于我们针对关键应用领域的解决方案。

Fluegas 2700 视频

我们的产品视频专注于氧气和可燃物组合分析仪

Gen-7 预告片

Gen-7 升级视频

Propylene Oxide Application Video 中文字幕版

典型应用

NanoChrome 可为各种行业的应用和工艺提供准确、可靠的气体分析,尤其是在超高纯气体和半导体领域。

还想了解更多信息?请咨询我们的专家。

如果您仍有疑虑,请咨询我们的专家。他们将为您提供最专业、最详尽的解决方案讲解,并帮助您找到最适合您应用场景的方案。


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