DF高纯

DF-560E可提供业内领先的超微量级O2检测

DF-560E具有45 ppt(万亿分级)的最低检测限 (LDL),能为超高纯 (UHP) 电子工业级气体的质量控制应用提供半导体行业最佳的氧气 (O2) 测量性能。

以最低检测限提供超微量级O2测量

DF-560E能以超低检测限提供超微量级测量,为半导体行业提供业内领先的45ppt LDL。该产品应用灵活且适应性强,不仅能在多种背景气体中有效监测O2,还支持多种数据记录格式。

DF-560E采用仕富梅超稳定的库仑电量法传感技术,能满足复杂工况应用的要求,在多变的样气和流量条件下仍能快速响应。

Douglas Barth
高级全球产品经理

精心设计,简单易用

DF-560E针对易用性和便携性等方面都进行了优化设计,理想适用于半导体制造和分析车应用。通过前面板和数字通信都能对分析仪进行操作,还能提供多种手提选件以便携带。

DF-560E采用出厂时预先标定的非损耗型库仑电量法传感技术,具有高性价比的设置和配置,从而有效降低使用成本。后续维护仅需每年一次量程标定,无需更换可编程测量池

高稳定性库仑法痕量和百分比测量

当出于质量控制或泄漏检测目的而需要测量作为污染物的超痕量氧气时,您需要一种具有性能,稳定性和可靠性的气体分析仪。最低的LDL是必不可少的,因为在容易发生样品和流速波动的不安定应用中执行一致的高稳定性测量的能力也很重要。还需要可测量多种背景气体和灵活便携性的适应性配置选项,以及全面的数据记录和图形记录。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低您的持续成本并提高运营效率的分析仪,我们认为您不必为此妥协。

绝不妥协的解决方案

The DF-560E delivers oxygen measurement to the very lowest levels, delivering users an exceptional LDL of 45ppt. This industry-leading performance is augmented by a variety of extended operational capabilities. Automated maintenance executes automatic zero and span calibrations on a scheduled basis, or executes scheduled automatic checks and notifies users when calibration is needed. An Automatic Maintenance Log records water additions, sensor data, and calibration activity to ensure ISO record-keeping requirements, while Automated Data Logging builds four-day and thirty-day graphical records of analyzer readings.

维护简单,降低了运行成本

DF-560E的预校准,长寿命传感器具有5年保修,可在产品使用寿命内降低成本。此后,DF-560E仅需要进行年度SPAN校准,而无需可编程单元更换。还提供了自动维护记录功能,并且DF-560E提供了多种校准选项。定期自动调零和量程,并通知需要校准;以及一个手动校准系统-紧凑地集成在面板的背面,可增强设备的便携性。

专业支持您的分析系统

无论您是想将DF-560E集成到新建还是现有系统,仕富梅专家团队都能随时提供帮助。如有建议、项目管理和优质工程等方面的需求,欢迎咨询我们以了解更多信息。

如需订购,请参照以下基本流程

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业内领先优势

DF-560E是一款应用灵活且适应性极强的分析仪,可在UHP气体中提供超微量级氧气测量。

无与伦比的性能

DF-560E可提供目前半导体行业最低的45ppt O2检测限 (LDL)

复杂工况应用的理想之选

DF-560E采用高度稳定的库仑电量法传感器,能补偿样气和流量波动,提供高度稳定且一致的测量结果。

扩展操作功能

自动维护功能会定期进行零点和量程标定,或自动定期检查并通知用户何时需要标定

无与伦比的性能
业界领先的45ppt检测下限(LDL)
使用行业领先的库仑电子传感器技术
响应速度快
由仕富梅(Servomex)制造-超过60年的经验,在现场使用了数千台设备


灵活
广泛的检测范围:0-1ppb-0-20ppm
通过一个单元监控多种背景气体
传感器可补偿样品和流速的波动-非常适合烦恼的应用
可通过前面板或数字通讯选项进行操作


易于使用
灵活的便携性
可选的校准系统,可紧凑地集成到面板背面,优化了设备的便携性
简化的日常维护要求
具有4天和30天图形阅读记录的全面自动化数据记录


拥有成本低
经过工厂校准的传感器,可简化设置
非损耗库仑传感器,具有五年保修
只需要年度SPAN校准
无需昂贵的净化器更换


基准合规
IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

可检测气体、测量范围和检测技术

DF-560E采用高度稳定的非损耗型库仑电量法O2传感器,能在多种背景气体中监测最低水平的O2。

Gas 测量
氧 (O₂)ppt, ppm, ppb

Technologies

證書

IEC 61010-1
II类过电压,污染等级2
欧盟EMC指令
欧盟低压指令

原理图(选择展开)

尺寸

309毫米(12.1英寸)宽x 203(7.9英寸)高x 253毫米(9.9英寸)深

重量

8.2公斤(18磅)

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Douglas Barth
高级全球产品经理

下载您需要的所有DF-560E信息

“我们已经编制了一个完整的资源包,其中包含有关DF-560E的全部信息,可以轻松下载。现在就获取它,以了解行业领先的超痕量氧气分析仪的优势和技术规格。”

Douglas Barth
高级全球产品经理

手册和手册

是否需要有关DF-560E的功能和优点的更多信息?立即下载操作手册和产品手册。

DF-560E操作手册

DF-560E操作手册

DF-560E产品说明书

DF-560E产品说明书

你自己看

我们的视频使您有机会观看我们的产品,并听取专家的意见。您还可以看到我们的分析仪已拆箱,并了解有关针对关键应用的解决方案的更多信息

UHP整体解决方案

介绍面对UHP气体应用的独特的单一供应商解决方案

DF-500氧气分析仪系列

介绍我们的超微量级分析仪如何提供最稳定的氧气测量

典型应用

DF-560E专为半导体工厂和分析推车而设计,可在UHP电子级气体中进行超痕量O2测量。

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