DF高纯

DF-730用于监测HCl中的超微量级水分

DF-730是一款超微量级水分分析仪,用于监测半导体制造过程中使用的电子工业级高纯氯化氢(HCl)气体。

电子工业级HCl气体生产中的超微量级水分测量

DF-730设计用于分析半导体制造过程中电子工业级HCl气体中的水分污染物,是质量控制和泄漏检测应用的理想之选。

仕富梅业内领先的可调谐激光二极管 (TDL) 传感技术和耐用的Herriot Cell测量池可以实现十亿分之1 (ppb) 到百万分之10 (ppm) 之间的宽测量范围。

通过确保水分与光学器件之间尽可能少的接触,DF-730保证了性能不受镜面反射率损耗的影响,从而确保稳定、精确和一致的快速响应。

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

全面优化,提高分析仪使用寿命内的经济性

DF-730先进的TDL传感技术可实现零漂移,从而有助于延长维护周期,减少标定需求

DF-730不仅具备超稳定的高性能监测能力,还能大幅节省运行成本,是半导体制造应用中理想的纯度监测解决方案。

高穩定性庫侖法痕量和百分比測量

當您需要對電子級HCI氣體進行質量控制時,您需要一種水分分析儀,該分析儀能夠提供一致,可靠的測量結果並具有靈敏的性能。靈活的監視範圍是必不可少的,傳感技術也必須能夠有效地長時間運行-即使信號明顯丟失。無論您的應用程序需要什麼,您都需要一種水分分析儀,它可以降低您的日常成本並提高運營效率。在Servomex,我們認為您不必妥協。

絕不妥協的解決方案

DF-730專為滿足您的應用需求而設計,可滿足半導體製造商所要求的高質量和高性能標準。該設備採用高穩定性的TDL感應和堅固的Herriot電池,有助於最大程度地減少與光學組件的水接觸。這消除了鏡面反射率問題的損失,並使DF-730能夠進行可靠的基線測量。 1ppb-10ppm的寬測量範圍確保了在大多數工藝條件下的靈活性能。先進的性能使DF-730成為滿足您的應用需求的理想監視解決方案。

維護簡單,降低了運行成本

DF-730不僅具有強大的監控功能,而且還具有降低日常成本的能力。專利的先進TDL傳感技術的使用意味著零漂移,減少了校準需求以及最小的日常維護。 DF-730經過精心設計,具有彈性,高性能設計,可為用戶提供廣泛的使用壽命,而擁有成本卻很低。

为您的分析系统需求提供专业支持

如果您需要构建一套气体分析系统,仕富梅专家随时可以提供帮助。我们会和您密切协作,提供自始至终的项目管理支持,帮助您构建理想的解决方案。欢迎和我们联系以了解更多详情。

如需订购,请参照以下基本流程

轻松找到适合自身应用的仕富梅产品

查询

联系我们,提出您的需求和目标应用

咨询

我们的专家团队会帮助您选择合适的产品套件,包括相关配件和支持,确保为您提供最合适的分析仪

成交

我们将在最先进的工程中心装配好分析仪,并快速交付

TDL水分测量的优势

高性能DF-730分析仪可提供超级稳定的监测性能并大幅节约成本。

可靠性高

通过尽可能减少水分与光学器件的接触,DF-730的可重复基准测量精度不受镜面反射率损耗的影响,从而可确保测量精度和稳定性。

性能卓越

DF-730的分析不受气体测量池浓度的影响,因此即使在信号损失高达90%的情况下也能继续正常工作。

维护周期更长

超稳定TDL传感技术意味着DF-730无需频繁维护,而且维护简单,不需要耗材。

無與倫比的性能
不受氣室濃度影響的分析:DF-730符合規範,信號損失高達90%
1ppb下檢測限(LDL)
由仕富梅(Servomex)製造-超過60年的經驗,在現場使用了數千台設備


靈活
可調諧激光二極管(TDL)感應可提供高穩定性,並減少與光學元件的水分接觸
廣泛的檢測範圍:1ppb – 10ppm
可通過前面板或數字通訊選項進行操作


易於使用
簡化的日常維護要求,無需消耗品
高可靠性;不受鏡子反射率損失影響的可重複基線測量


擁有成本低
通過使用超穩定的TDL傳感技術來延長維護週期
零漂移降低了校準要求


基準合規
IEC 61010-1
II類過電壓,污染等級2
歐盟EMC指令
歐盟低壓指令

检测到的气体,测量和技术

DF-730将仕富梅先进的TDL传感技术与耐用的Herriot Cell测量池集于一身,可监测HCl气体中的微量级和超微量级水分杂质。

Gas 测量
水蒸气(水分) (H₂O)ppm, ppb

Technologies

證書

IEC 61010-1
II類過電壓,污染等級2
歐盟EMC指令
歐盟低壓指令

原理图(选择展开)

尺寸

465mm (12.1″) Wide x 190 (7.9″) High x 253mm (9.9″) Deep

重量

<31.8公斤(70磅)

获取详细规格

“要获得深入的规范,您将需要下载我们的技术数据表,其中包括有关技术,性能,操作环境,样品条件和合规性的信息,以及技术图纸和顶级收益和应用。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

下载DF-730资源包

“只需简单下载即可获取所需的DF-730的所有信息。我们已经收集了必不可少的资源,以确保您了解此灵敏的水分测定仪的所有功能和优势。”

Dan Johnson
產品與服務全球負責人– P&S

手册和手册

查找有关DF-730的性能和技术规格的更多信息–立即下载操作手册和产品手册。

DF-730 产品说明书

DF-730 产品说明书

DF-730产品说明书

DF-730产品说明书

典型应用

DF-730设计用于分析半导体制造厂所用电子级HCl气体中的污染物中的湿气,是质量控制和泄漏检测应用的理想选择。

半导体工厂中HCl气体的质量控制

超高压气体/半导体

全面的系统解决方案

了解更多

© Copyright 2020 - Servomex is a Spectris company.
点击这里下载您选择的文件